行ったときに秋葉原で買ってきたシロッコファンです。PM昨年、偶々拝見させて頂き興味深く読ませて頂いております。磁石はターゲットの下で比較的自由に動かせる構造かと認識しておりますがこの磁石を動かしながらのスパッタではムラは解消できないでしょうか??実際の装置では、ターゲットの寿命を延ばす為にそんな機構がついているものもあるかと思います。(プラズマ密度の濃い部分だけが削れるので磁石を動かすことで解消してるようです)上記のような目的ではありませんが磁石を動かすことで満遍なくターゲットをスパッタする形で、現状より改善できそうな気がします。轆轤のような台に中心をずらして、磁石を配置して、台を回転させることでこのような状態を作ったり出来ます。PMなはなはさん、アドバイスいただきありがとうございます。来週やってみようと思います。磁石はチャンバの外においていますので動かすのは簡単です。プラズマ位置を見ながら動かすためにターゲットが下に来るようにしたほうが良いですね。最初は手で動かすかな...うまくいくようならステッピングモータで往復運動するようにメカを作っても良いですね。行き詰まり気味でしたが、なはなはさんのコメントで展望が開けたような気がします。結果はここで報告させていただきます。アドバイスくださいませ。ありがとうございました。コメントをキャンセルメールアドレスが公開されることはありません。※サイト次回のコメントで使用するためブラウザーに自分の名前、メールアドレス、サイトを保存する。上に表示された文字を入力してください。電子工作メタ情報ログイン投稿フィードコメントフィードWordPress.orgタイトルとURLをコピーしました。