しては、ICの洗浄に使用されるトリクロロエチレンやテトラクロロエチレンなど有機塩素系溶剤が地下に浸透し、地下水汚染が問題となった。アメリカのシリコンバレーで、大量の有機溶剤が漏出し土壌・地下水の汚染が発覚したことが契機になった。クリーンなイメージを持つ先端技術産業からの汚染は、社会的インパクトを与えた。して指定され、水質汚濁防止法(昭45法138)においても有害物質として規制されることとなった。一般財団法人環境イノベーション。