当社には、様々な原理・形状の既製品がございます。それぞれの原理・形状紹介をご覧いただき、カタログをダウンロードまたはお問い合わせください。原理についてECタイプSFタイプSCタイプBCタイプECタイプウェハのエッジエクスリージョンをサポート従来型では薄加工や成膜処理によって反りや撓みが大きいウェハを、非接触搬送することが非常に困難でした。そこでKUMADEの細部の見直しを行うことにより、ウェハの外周以外に触れることなく、表裏面とも兼用可能な非接触搬送ハンドを新たに開発することに成功しました。Device)バンプ・貫通穴開ウェハ(WLCSP,MEMS)TSVウェハTAIKOウェハDBGウェハSCタイプウェハの外周をサポート吸着ハンドと違いウェハ表面に対し非接触でハンドリングが可能なため、パーティクル転写問題等の根本的な問題対策となります。反りが無いフラットなウェハBCタイプウェハのベベルをサポート低ストレスでありながら、有効エリアも触れずに反転動作も可能です。