周期的な構造を設けて、量子効率を高めた(図1)。入射した光が撮像素子内部を通過する光路が長いほど、量子効率は高まる。撮像素子を厚くすればその分、光路が長くなるものの、素子が厚くなってしまう。そこで、撮像素子表面に周期的な凹凸を設けて入射光を回折させ、光路を長くした注2)。入射光を回折させると、隣接する画素に光が入り、撮影した画像の解像度が低下する。この現象を抑えるために、近赤外光を反射させるトレンチ構造(DTI)を設けた。注2)開発品の凹凸構造の周期は400nm。セルサイズは、虹彩認証用の従来製品と同じ1.12μmで、画素数は約200万である。周期構造を設けて量子効率を2倍にソニーは、近赤外線イメージセンサー(撮像素子)の量子効率を高めるために、周期的な凹凸を撮像素子表面に設けた(a)。これにより入射光を回折させて、光路を長くした。入射光を回折させると、隣接する画素に光が入り、撮影した画像の解像度が低下してにじんだようになる(b)。このクロストークを抑えるために、「DTI」と呼ぶトレンチ構造を設けた。この結果、凹凸構造を設ける前と同程度の解像感を得つつ、850nmにおける量子効率を35%前後と、同社従来製品の約2倍を達成した(c)。この一連の技術を新製品に適用した。(図:ソニーの資料を基に本誌が作成)[画像のクリックで拡大表示]開発品では、凹凸構造を作りやすいSiの(111)面を利用。同面は一般的な(100)面に比べて界面順位が高くなり、ノイズとなる暗電流が大きくなる。そこで、ある表面処理を施して界面順位を下げることで、暗電流を(100)面並みに抑えた。日経エレクトロニクス記事は執筆時の情報に基づいており、現在では異なる場合があります。本書が勧めるのは「目的志向の在庫論」です。Manufacturing日本の製造業が新たな顧客提供価値を創出するためのDXとは。技術開発のトレンドや注目企業の狙いを様々な角度から分析し、整理しました。次世代電池技術やトレンドを徹底解説。NewAGC、夜間の歩行者交通事故ゼロに挑戦エレキ毎月更新。「次の一手」が分かるDXの祭典。2023年6月に大阪で開催します。情報変更・解約6/1開催ウェビナー『ChatGPTは我々の仕事をいかに変えるのか?。