Microbalanceセンサー部(電極)に膜がつくと、その重み(質量)で周波数(MHz)が減少します。この周波数(主に5MHzや6MHz)の減少幅から膜厚を読み取ることが可能です。オームストロング単位のわずかな膜厚量の変動でも正確に読み取れます。問題としては温度に非常に敏感に周波数が変動します。Tech社のQCM膜厚モニターと水晶振動子で20°Cから500°Cまで温度範囲でも可能になりました。教授浦岡行治氏がALDとALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。教授霜垣幸浩氏がALDに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。大阪大学の唐橋先生より案内がございました。ALD、ALEをなどをALPとして、リアルでのシンポジウムが2月10日(金曜)に開催されます。詳細案内はこちらにて。北海道大学様が主催にて、ALD技術のオンラインセミナーが12月22日(木曜)12:55~17:20に開催されます。詳細案内はこちらにて。セミナーシンポジウム(講習会)紹介「CVD・ALDプロセスの基礎」CVD反応分科会(弊社もメンバー)主催にて、CVDやALDのプロセスに関してオンラインシンポジウムを12月9日(金曜)に開催されます。詳細案内はこちらにて。教授浦岡行治氏がALDとALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。和典氏がALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。浦岡先生がALDとALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。霜垣先生がALDに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。浦岡先生がALDとALEに関するライブ配信セミナー(Zoom)を行います。Etchingハードウエア粉体用ALDコーティングオゾンやプラズマについてその他ハードウエア製品お問合せブログTranslate。