不活性ガス循環精製装置はアルゴンガス、窒素ガス、ヘリウムガスなどの雰囲気のグローブボックスや真空処理チャンバーのガス置換、熱処理装置など高純度なガスを必要とするシステムに使用します。目的に応じてガスの種類、ガスの循環流量など様々な仕様に対応した設計が可能です。最大60Nm3/hまでのガス循環精製が可能です。vol)の精製能力を有します。多くの販売実績がございます。チャンバーなどに使用した余剰ガスを回収しますのでガスコスト削減に大きく寄与いたします。