要約:【課題】搬送効率を向上させて高いスループットを得ることができる基板処理装置を提供する。【解決手段】レジスト塗布処理および現像処理を行う基板処理装置に、現像処理後の基板の検査を行う検査ブロックを組み込む。検査ブロックには、所定内容の検査を行う検査ユニットと、その検査ユニットに対して基板の受け渡しを行う搬送ロボットとを搭載する。検査ブロックに検査対象となる基板が搬送されたときには、搬送ロボットがその基板を検査ユニットに搬入する。検査ブロックに検査対象となっていない基板が搬送されたときには、搬送ロボットがその基板をそのままブロックの出口まで搬送する。このときに、検査の対象となっていない後続の基板が検査対象となっている先行基板を検査ブロックにて追い越すことを許可している。現像処理が終了した基板のうち検査の対象となっていない基板が検査対象となっている基板を前記検査ブロックにて追い越すことを許可することを特徴とする基板処理装置。ReservedTOPBOTTOM。