日立ハイテクこのウェブサイトでは、JavaScriptの機能を有効に設定していただくことで、最適なコンテンツをご覧いただけます。まで、幅広い分野で利用されています。(STEM)に大別されます。MORE集束イオンビーム(FIB/FIB-SEM)細く絞ったイオンビームを試料にあて、その際に発生する電子を利用して表面構造を観察したり、試料表面を任意の形状に加工することができます。特定微小部の加工が可能であることから、SEM観察用の断面作製やTEM観察用の薄膜作製に広く利用されています。FIBにSEMを組合せたFIB-SEMでは、FIBで作製した断面をそのままSEMで観察でき、FIB加工とSEM観察を繰返すことで、連続断面画像シリーズを収集できます。幅広い分野で利用されています。(CSI)ナノ3D光干渉計測システム(CSI)は、光の干渉現象を利用した非接触・非破壊の表面形状計測装置です。nmを維持したまま広い視野領域の計測を実現しています。VS1800では、透明積層体の光学界面から得られる干渉ピークを高さ検出することにより、表面形状計測に加え多層膜の層構造および層内部の異物計測が可能です。分析や試料前処理に必要な周辺装置をご紹介します。MOREサービス・サポート装置設置環境の評価・対策、装置の安定稼動のための保守やメンテナンス、装置をより有効に活用頂くための技術サポートや各種ソリューションをご紹介します。「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。お客さまの知りたいこと、日々の業務に役立つ情報を「S.I.navi」がサポートします。(ご入会は無料です)日立電子顕微鏡をご使用されているお客さまは、「S.I.navi」上で製品情報をご登録いただくと、日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution(セメボリューション)」にて、さらに多くの関連情報をご覧いただけます。