レチクルとウエハとをファインアライメントする。レチクルに形成された原画がウエハに露光される露光方法において、レチクルに透光可能のレチクル側マークを形成しておく。レチクルとウエハとの位置合わせに際し、ウエハに下層パターンと共に先に形成されたウエハ側マークが、レチクル側マークを透かして観察されることにより、ウエハ側マークとレチクル側マークとが照合される。ウエハ側マークとレチクル側マークとの照合でレチクルとウエハとが位置合わせされた後に露光がすぐさま実行される。レチクル側マークとウエハ側マークとを照合することでレチクルとウエハとの位置合わせが直接実行されるため、相乗誤差の介在を排除でき、レチクルとウエハとの重ね合わせ露光の精度を大幅に向上できる。わせマークとが照合されることを特徴とする露光方法。ReservedTOPBOTTOM。