ための駆動機構であって、定位置の支持柱1、支持柱に配置されたモータ4、軸線A-Aを中心として回転可能な伝動装置室6、伝動装置室の壁を貫通していて所属のサブストレートホルダーに作用結合している制御ロッド9を備えている形式のものにおいて、面積の大きなサブストレートもサブストレートホルダーに固定しない状態でかつ衝撃を受けることなく真空処理装置を通して案内されるようにする。【解決手段】モータが定位置の支承ケーシング5に結合されており、支承ケーシング内に支持柱に対して同心的に、放射状に配置された複数のアーム14から成る回転可能な装置を支承してあり、アームが二腕の各アングルレバー16の1つの端部にヒンジ的に結合され、各アングルレバーが枢着ピン17を有し、アングルレバーの別の端部が制御ロッド9にヒンジ的に結合されており、枢着ピンが定位置の制御カム11内に案内されており、制御カムのカム軌道経路が制御ロッドの半径方向運動を規定している。アングルレバー(16)の枢着ピン(17)が定位置の1つの制御カム(11)内に案内されており、制御カム(11)のカム軌道経路が制御ロッド(9)の半径方向運動を規定していることを特徴とする、真空処理装置のための駆動機構。ReservedTOPBOTTOM。