Homepage高機能でコンパクトな化学分析装置や医療用デバイスを実現可能な技術であるMEMS(メムス:微小電気機械システム)では高分子材料やシリコン基板に対し微細な加工が施されます。加工プロセスではナノ・マイクロ空間の材料特性が重要になるため,コンピュータを用いた材料・加工プロセスの分子レベルのシミュレーションやナノサイズの材料を利用した新しい材料・加工プロセスの研究を行っています。コンピュータを用いた材料・加工シミュレーションでは,計算規模に応じて学外のスーパーコンピュータを利用しながら高分子レジスト材料,ゴム材料の物性予測やレーザー加工,砥粒加工などの材料・加工プロセスのシミュレーションを実施しています。シミュレーションの結果から得られた情報や材料の熱,光学物性を利用した新しいナノ材料の生成・加工プロセスの開発にも取り組んできます。MEMSにおけるレジスト材料などの高分子材料のメソ領域の材料特性に注目し,その特性のマイクロシステムへの応用を目指しています。オンライン)において浜本君がポスター発表を実施しました2022-11-18第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(11月14日〜11月17日,徳島)において研究室から4件の発表を行いました2022-11-03Transducers2019に長瀬君のアブストラクトが採択されましたTransducers2015にレーザ微細加工技術に関する研究成果が採択されました。