試料の膜質や膜厚の影響を受けにくい安定した焦点合わせができる焦点合わせ装置を提供する。焦点合わせ装置2を備える膜厚測定装置1において、検査用光源部3から出射される検査光L3を対物レンズ144を介して試料9に照射し、検査反射光L4の検査用受光部4における受光位置に基づいてステージ51の位置を調整して試料9を合焦位置に配置させる。このとき、予め検査用光源部3から複数の異なった波長の光を出射して試料の膜質や膜厚の影響を受けにくく反射光の光量が十分に得られる波長の光を調べておく。この波長の光を用いて焦点合わせを行うようにする。これにより、試料の膜質や膜厚の影響を受けにくい安定した焦点合わせが可能となる。請求項1:試料に対して光学的な測定を行う装置において、前記試料の合焦位置への配置を検査する合焦検査方法であって、複数の異なる波長の光を同一の光軸に沿って前記試料に照射する照射工程と、前記試料からの反射光を受光し、前記反射光から前記複数の異なる波長の光のそれぞれに起因する複数の成分情報を取得する受光工程と、前記複数の成分情報に基づいて前記複数の異なる波長の光から特定の波長の光を検査光として選択する選択工程と、前記検査光を用いて前記試料の前記合焦位置への配置を検査する検査工程と、を有することを特徴とする合焦検査方法。ReservedTOPBOTTOM。