東京都千代田区)は、液晶露光装置の新製品3機種「FX-66S」「FX-76S」「FX-86S」の販売を開始いたします。販売開始2011年10月より新製品概要FX-66Sスマートフォンに代表されるモバイル機器の普及・拡大に伴って、市場からは大型プレート基板の採用による液晶パネル及び有機ELパネルの生産効率向上が求められています。「FX-66S」は、大型プレート基板による中小型パネルの生産に対応した露光装置です。生産性の向上とより安定した露光性能で、3マイクロメートル(L/S※)以下の高解像度による高精細中小型パネルの量産を実現します。現在開発中のさらに解像度を高めた露光装置と互換使用することによって、より高精細なパネルの量産が可能となります。FX-86S大画面液晶TVの普及に伴い、大型液晶パネルには高品位(フルハイビジョンなど)と低価格の双方が市場から強く求められています。この要望に対する当社の市場への提案が「FX-76S/86S」です。大型プレート基板による大型液晶パネルの生産に対応した本露光装置で、生産性の向上とより安定した露光性能により、大型高品位液晶パネルの量産に寄与します。FX-101S用に開発した高度なキャリブレーション機能を適用し、より安定した露光性能を実現します。複数の投影レンズで構成されたニコン独自のマルチレンズシステムを搭載。以下の高解像度を達成します。横にスクロールしてご覧ください。ウェブサイトこちらに掲載されている情報は、発表日現在の情報です。販売が既に終了している製品や、組織の変更等、最新の情報と異なる場合がありますのでご了承ください。Corporationページの先頭へ戻る。