deposition乾式プロセスとしてもっとも簡単な成膜方法の一つ。真空中で加熱によって材料を気化させ,被覆したい物体表面にコートする技術。加熱には抵抗加熱,電子線加熱,高周波あるいはレーザ加熱がある。蒸着材料には金属,無機酸化物,有機物など幅広く用いられる。真空蒸着は乾式でクリーン,超薄膜が可能,高速成膜が可能などの利点があるが,耐摩耗性・耐蝕性が低い。加工した製品ではむらになるなどの短所もある。