カテゴリ真・MFC千夜一夜物語(第2期)ezj_deco02Comment(0)謹賀新年。BLOG、真・MFC千夜一夜物語を、宜しくお願いいたします。新年は1/11の更新予定でしたが、皆さん既に仕事始めの方も多いようですので、1/11更新予定分を前倒ししてアップさせて頂きますね。けで注目を集めている圧力式フローコントローラーに関する解説です。各メーカーの圧力式フローコントローラーを俯瞰していますが、解説にはDecoの主観が入っています。GP200シリーズをリリースしました。他社製品との違いは、ラミナーの上流用P1、下流用P2に絶対圧センサーを2個装備するのではなく、1個の差圧センサーに統一して対応している事です。この構造は、実はラミナーフロー方式の流量測定方法としては、王道を行く構成です。以前取り上げたALICATのラミナーフロー方式フローコントローラーも差圧センサー(絶対圧対応)を搭載している点で似通っていますが、純粋な半導体向け用途ではブルックスが初めてではないでしょうか?差圧センサーの部品コストは安価ですし、搭載する2つの絶対圧センサーの器差を少なくするという品質上の厳しい要求を抱えるラミナーフロー式にとっては、好ましい判断に思えます。流量制御バルブを下流に置き、絞りとして機能させることで、二次圧変動影響を抑制し、差圧センサーを安定した環境で使用する事ができる構成も、よくわかっている感がありますね。PS100シリーズと同じです。市場に出て間もない事があり、評価はこれから定まっていくかと思います。本来差圧式センサーは耐圧性能に乏しく、急激な圧がかると破損しやすいという欠点を持っている点が気がかりではあります。け圧力式フローコントローラーが世に出て20年は経過しています。その中で先駆者たるフジキン、そして技術をM&Aで上手く取得した堀場エステックの2社が、大切に製品を熟成していった結果、この先の10mmMFCの世代で一気に熱式とのシェアをひっくり返す存在にまで成長しているようです。それに日立金属とMFCの老舗ブルックスの圧力式がどこまで迫っていけるかは、今後非常に楽しみですね。今回は取り上げていませんが、PIVOTALのような全く考え方の異なる“圧力式“も存在しています。Decoのような熱式、それも巻線式のマスフローコントローラー(MFC)で育った世代からすると、少し寂しい気もしますが、こういったドラスティックな変動に立ち会えるのは、大変面白い事です。本ブログでは今後も新しい技術動向を紹介していきたいと思っています。けで注目を集めている圧力式フローコントローラーに関する解説です。各メーカーの圧力式フローコントローラーを俯瞰していってます。PS100シリーズ日立金属(株)の圧力式フローコントローラー第1世代に当たるPS100シリーズは、堀場エステックの“CRITERION”と同じくラミナーフロー方式の流量測定原理を採用しています。本製品の構造上の大きな特長は、機械式のレギュレーターを入口部に設置していることです。これは他に例を見ません。レギュレーターで上流圧力変動を抑え、下流側は流量制御バルブが絞りの効果を発揮して同じく圧力変動影響を受けない為、測定時に非常に高い安定性を維持できると期待できます。P2が真空下で二次側圧力変動に晒され続ける構造よりも、ラミナーフロー流量測定原理を忠実に再現できる点で評価できるとDecoは考えます。PS100シリーズは理論的には正しい構成を取っています。その利点を裏返すと、搭載する機器、部品点数が多くなることで構造が複雑になるという事です。・・・という事は、コストダウンが難しいのではないのかな?いう点が気にはなります。同社の圧力式フローコントローラーの一作目としては、非常に手堅くまとめられている点で好感が持てます。Decoの知る限り、機械式レギュレーターの設計、生産経験は同社には無かった筈ですが、よく開発に踏み切ったものだと感心しました。2021年の更新は今回までです。次回更新は、年明け1/11(火)の予定です。BLOGを、宜しくお願いいたします。けで注目を集めている圧力式フローコントローラーに関する解説です。前回から一社ずつ各マスフローメーカーの製品を俯瞰していってます。Corporationというベンチャー企業が、体積流量計であるラミナーフロー流量計の原理をアレンジしたUS特許を取得し、圧力式フローコントローラーを発表しました。呼称)であり、理論上高い精度での計測が可能です。ラミナーフロー方式は、臨界ノズル方式と並んで、国家の流量標準移管器として採用されるなど、理想的な気体流量測定方式です。フローコントローラーとして考えた場合、ラミナーフロー方式の一番の長所は、他の圧力式と比較してワイドレンジ対応が容易な事です。真空領域での用途がメインである半導体製造装置で使用するには2つの問題点があるとDecoは考えていました。超高真空下の密度の低い気体の流量測定に用いるにあたって、P1、P2の2つの絶対圧センサーの器差が問題となること。ラミナーフロー方式は、熱式のように流体固有の物性である比熱に支配されない代わりに、同じく固有の値たる粘性に支配されます。熱式と同様にガスによるコンバージョンファクター(CF)が存在してしまうこと。1に対しては、絶対圧センサーの性能と器差の縮小をハードウエア的に熟成していくしかありません。2に対しては、CF、つまり実ガスとの変換係数を設定する為のガスデータの蓄積が必要になります。熱式マスフローコントローラー(MFC)もMGMR対応に当たっての実ガスデータベース作成が求められていた背景もあり、堀場エステックは福知山テクノロジーセンター等で実ガス流量測定装置等の設備を準備してガスデータベースを構築しています。いった表舞台にあまり出ない部分で技術データの蓄積を、確実に行ってきているのは流石にトップメーカーだなぁと感心させられますね。2014年6月開業です。流体制御機器マスフローコントローラーを中心に”流体制御関連の万(よろず)屋”として情報発信しています。”マスフロー千夜一夜物語”の連載中です。