FMプローブはフォースモジュレーション用に設計されました。このプローブのばね定数はコンタクトモードとノンコンタクトモードの間に設定されており、ノンコンタクトモードとタッピングモードでも使用できます。シリーズのプローブは、静電気の影響を抑えるドーピングをしたモノリシックシリコンで作られています。化学的に不活性で、高感度測定を可能にする高いQ値を持っています。ティップ形状はピラミッドに近い多角形です。ティップとサンプル間に強いコンタクトを必要とする測定にはティップ側にダイヤモンドコートをしたプローブをお勧めします。このコーティングは、高硬度ダイヤモンドにより高い耐摩耗性があります。典型的なティップ先端の曲率半径は100から200nmです。10nmレベルのナノラフネスの効果で、フラットなサンプルの測定において分解能が向上する場合があります。CDTは導電性ダイヤモンドコートです。(SCM)などの測定にお使いいただけます。アルミ反射コーティング導電性ダイヤモンドコートは、ティップに厚さ100nmの多結晶ダイヤモンド膜を製膜したもので、高い硬度を持っています。背面のアルミコートは、レーザー反射効率を高め、かつカンチレバーにおける光学干渉を抑える効果があります。