:日立ハイテクこのウェブサイトでは、JavaScriptの機能を有効に設定していただくことで、最適なコンテンツをご覧いただけます。搭載した高機能・高分解能タイプの「S-4800」と、国内メーカーとしては最大の大型試料室を装備した熱電子銃タイプの「S-3600N」の2機種を2月19日に発売します。現在、ナノテクノロジーの進展に伴い、半導体デバイスの微細化・高密度化が進み、半導体メーカーからは超微細領域における高精度の評価・分析のニーズが高まっています。ライフサイエンスや情報通信、環境などの分野でも、ナノテクノロジーは次世代を支える中核技術として、世界各国で国を挙げて技術開発に取り組んでいます。エネルギー等の研究開発に貢献するなど、最先端技術分野の幅広いニーズに対応してきました。中心に好評を博しています。「S-5200」と同様に、低加速反射電子の高効率検出が可能であり、15kVで1.0nm、1kVで2.0nmの高分解能を保証しています。タイプIIの2機種を用意、従来機を超える大型試料の観察が可能になりました。「S-4800-I」が6,430万円で、「S-4800-II」が7,430万円。「S-4800」の初年度の売上は200台を見込んでいます。「S-3600N」は熱電子銃タイプのSEMで、最大10インチ(254mm)径までの大型試料を搭載できる5軸モーターステージを装備、試料厚さ70mm、重量2kg試料の観察・分析が可能です。これまで観察・分析が難しかった大型硬質試料や貴重な試料等の場合も、破壊することなく、そのままの状態で試料ステージに装着できるようになりました。高真空モードによる高分解能観察に加えて、水・油分を含んだ試料や絶縁試料の場合も、乾燥や金属コーティングなどの前処理を行なわずに観察・分析できる低真空モードのナチュラルSEM仕様となっています。販売価格は3,340万円。初年度の売上は100台を見込んでいます。当社は、新機種「S-4800」、「S-3600N」の市場投入により、高分解能ニーズや大型試料・非破壊ニーズに応じたトータル・ソリューションを提供し、「21世紀の産業のコメ」と期待されるナノテクノロジー分野の進歩発展に貢献していきます。ついて」をよくお読みいただき、ご同意いただける場合のみ、お問い合わせください。