矯正するために、静電チャックが使用されています。当社のJohnsen-Rahbek型静電チャックは、独自の材料技術と加工技術により、高い評価をいただいています。最適化することで、極めて優れた着脱応答性を発揮します。これにより、スループットの大幅な向上に貢献できます。独自のポリッシング技術により、全面にわたり高精度な平面度が得られます。優れた面粗度を実現できるため、高い吸着力とパーティクル量の低減が可能です。絶縁体を一体焼成しているため、接着材により一体化した静電チャックと比較し、経時的な安定性に優れています。材質Al2O3(TiO2添加)比重-3.98ヤング率GPa400ポアゾン比-0.24破壊靭性値MPa・m1/24.6ビッカース硬度98N,GPa14比誘電率-10.7※記載したデータは代表値であり、保証値ではありません。・吸着力:706N(φ300mm、ピン部表面積0.75%として)※記載したデータは代表値であり、保証値ではありません。