×この技術を簡単クリック査定この機能をご利用いただくには、会員登録(無料)が必要です。出願した特許の牽制数、引用された数などを知る事ができます。気になる技術や特許をブックマークしておけば、いつでも後から読むことができます。後で印刷するために、公報をPDFでダウンロードできます。会員登録してastamuseを使えば、もっと簡単に便利にお使いいただけます。会員登録(無料)「astamuse」は世界中の挑戦したい社会課題に挑戦し、未来を創る人のプラットフォームです。多関節ロボット及び半導体ウェハ搬送装置この技術は特許登録された実績があります。マニプレータ※この項目の情報は公開日時点(2014年5月1日)のものです。軌道のずれを抑制し、動作の正確性に優れた多関節ロボット。基に各モータの制御を行うように構成した。従来より、複数のアーム要素を関節によって順次接続し、各関節に対応したアクチュエータを制御することによって、先端のハンド部の位置及び姿勢変更を変更可能にした多関節ロボットとして、数多くのものが知られている。した多関節ロボットで用いられる関節は、対をなすアーム要素を相対的に直線運動させるものと回転運動させるものに分類され、これらの種類および個数を組み合わせることで、種々様々な動作を行わせることが可能になっている。多関節ロボットの中でも、アクチュエータとしてモータ等による回転機構を関節に備えたいわゆる水平多関節型ロボットや、垂直多関節型ロボットが、製造業等においてより広く一般的に利用されている。半導体ウェハ搬送装置においては、特許文献1に記載されるような水平多関節型ロボットが好適に用いられており、先端に設けたハンド部上に半導体ウェハを載置させた状態で各関節を回転駆動させ、半導体ウェハを所定の位置に搬送することができるようになっている。した多関節ロボットに所定の動作を行わせるためには、各関節に対応して設けられたアクチュエータを制御部により統合して制御することが必要となる。この際、制御部からは各アクチュエータに適した指令信号を個別に出力することになる。関節が回転自由度を有するものであり、これを動作させるためにサーボモータ等の回転モータが使用されている場合には、モータの回転角度または回転角速度等を指令信号として出力し、所定の動作を行わせることになる。上述の特許文献1に記載されているような、回転自由度を有する関節を3つ備えたタイプのロボットにおいては、3つの関節に対応するモータのそれぞれに対して上記と同様の指令信号を与えることで回転運動を行わせ、先端のハンド部を所望の位置および姿勢に変更することが可能になっている。多関節ロボットでは一般に振動の低減が求められており、その中でも上記の半導体用途など精密加工を要する分野においてはこうした要求が特に大きなものとなっている。同時に、搬送時間の短縮などを目的に益々の高速化も求められてきている。動作速度を向上させた場合には、大きな加速度が働いて動作停止時の残留振動が大きくなる傾向にあるため、この残留振動を低減させることも必要となる。そのため、下記特許文献2および非特許文献1では、上述した振動抑制のための手法としてインプットシェーピング制御を用いるものが開示されている。インプットシェーピング制御をプリシェーピング制御と称することもあるが、両者は同一のものである。このインプットシェーピング制御では、予め振動測定を行うことで得た振動測定値を基にして、制振対象とする次数までの固有周波数と減衰係数とを装置特有の振動特性として同定しておき、アクチュエータに与えるべき基準指令値に対応する逆位相の信号を上記固有周波数及び減衰係数を基に作り出し、上記基準指令値に重畳させた制御指令値としてアクチュエータに与えるものである。このようにアクチュエータに与える制御指令値を予め適切なものに変更するフィルタ処理を行うことで、振動の抑制効果を得ることが可能となっている。軌道のずれを抑制し、動作の正確性に優れた多関節ロボット。基に各モータの制御を行うように構成した。基に各アクチュエータの制御を行うように構成されていることを特徴とする多関節ロボット。前記冗長領域内に対応するものとして判定するように構成されていることを特徴とする請求項1記載の多関節ロボット。生成するよう構成されていることを特徴とする請求項2記載の多関節ロボット。請求項4関節同士が重なり合う位置、又は、関節とハンド部の基準位置とが重なり合う位置を中心としてアーム要素が所定の範囲内にある姿勢を前記冗長姿勢としていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の多関節ロボット。行う所定の入力整形が、前記ハンド部の振動を抑制するためのインプットシェーピング制御としてのフィルタ処理であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の多関節ロボット。0001本発明は、複数のアーム要素が順次接続されており、アクチュエータによって関節ごとにアーム要素を相対動作させることで、先端のハンド部の位置及び姿勢を変更可能に構成した多関節ロボット、及び、これを用いた半導体ウェハ搬送装置に関するものである。背景技術0002従来より、複数のアーム要素を関節によって順次接続し、各関節に対応したアクチュエータを制御することによって、先端のハンド部の位置及び姿勢変更を変更可能にした多関節ロボットとして、数多くのものが知られている。0003こうした多関節ロボットで用いられる関節は、対をなすアーム要素を相対的に直線運動させるものと回転運動させるものに分類され、これらの種類および個数を組み合わせることで、種々様々な動作を行わせることが可能になっている。0004また、多関節ロボットの中でも、アクチュエータとしてモータ等による回転機構を関節に備えたいわゆる水平多関節型ロボットや、垂直多関節型ロボットが、製造業等においてより広く一般的に利用されている。半導体ウェハ搬送装置においては、特許文献1に記載されるような水平多関節型ロボットが好適に用いられており、先端に設けたハンド部上に半導体ウェハを載置させた状態で各関節を回転駆動させ、半導体ウェハを所定の位置に搬送することができるようになっている。0005こうした多関節ロボットに所定の動作を行わせるためには、各関節に対応して設けられたアクチュエータを制御部により統合して制御することが必要となる。この際、制御部からは各アクチュエータに適した指令信号を個別に出力することになる。関節が回転自由度を有するものであり、これを動作させるためにサーボモータ等の回転モータが使用されている場合には、モータの回転角度または回転角速度等を指令信号として出力し、所定の動作を行わせることになる。上述の特許文献1に記載されているような、回転自由度を有する関節を3つ備えたタイプのロボットにおいては、3つの関節に対応するモータのそれぞれに対して上記と同様の指令信号を与えることで回転運動を行わせ、先端のハンド部を所望の位置および姿勢に変更することが可能になっている。0006多関節ロボットでは一般に振動の低減が求められており、その中でも上記の半導体用途など精密加工を要する分野においてはこうした要求が特に大きなものとなっている。同時に、搬送時間の短縮などを目的に益々の高速化も求められてきている。動作速度を向上させた場合には、大きな加速度が働いて動作停止時の残留振動が大きくなる傾向にあるため、この残留振動を低減させることも必要となる。0007そのため、下記特許文献2および非特許文献1では、上述した振動抑制のための手法としてインプットシェーピング制御を用いるものが開示されている。インプットシェーピング制御をプリシェーピング制御と称することもあるが、両者は同一のものである。このインプットシェーピング制御では、予め振動測定を行うことで得た振動測定値を基にして、制振対象とする次数までの固有周波数と減衰係数とを装置特有の振動特性として同定しておき、アクチュエータに与えるべき基準指令値に対応する逆位相の信号を上記固有周波数及び減衰係数を基に作り出し、上記基準指令値に重畳させた制御指令値としてアクチュエータに与えるものである。このようにアクチュエータに与える制御指令値を予め適切なものに変更するフィルタ処理を行うことで、振動の抑制効果を得ることが可能となっている。No.6,2008)発明が解決しようとする課題0010しかしながら、上記特許文献2および非特許文献1に記載のものは、アクチュエータが一個のみで構成される単純な構造体に適用する例を示したものであり、特許文献1記載のロボットのような、実際の製造ラインで使用可能な複数の関節を有するものに適用した例を開示するものではない。0011そこで、上記特許文献2および非特許文献1に記載されるインプットシェーピング制御を特許文献1のような多関節ロボットに適用する場合には、各関節を駆動するモータにそれぞれ与えられる回転角度または回転角速度等の指令値に対して、インプットシェーピング制御に係るフィルタ処理を独立して適用することが考えられる。することで、上記と同様に、多関節ロボットにおいても振動抑制効果を得ることが可能となる。0012しかしながら、関節に対応するアクチュエータに与える指令値に独立してフィルタ処理を行った場合、ハンド部の動作軌跡が大きく異なってしまう可能性がある。0013具体的には、制御対象となる多関節ロボットが、関節の一部に回転自由度を有するものとされている場合には、一般にはモータによってこれを駆動するため、その回転角度または回転角速度等を指令値として制御が行われる。そのため、この指令値とハンド部の移動距離とは比例関係になることがなく、インプットシェーピング制御に係るフィルタ処理の影響は関節ごとに異なることになる。従って、ハンド部に直線軌道で動作させる指令値を与えた場合であっても、振動抑制のため関節ごとの指令値に独立してインプットシェーピング制御に係るフィルタ処理を適用すると、目標の軌道よりずれが生じハンド部は直線的な動作が不能となってしまう。0014そのため、ハンド部を他の装置の内部に挿入させる場合など、他の装置や壁面等の障害物が近くに存在する状態でハンド部を直線的に動作させる際には、これらの障害物にハンド部が衝突して損傷することが考えられる。ハンド部が半導体ウェハ等のワークを保持して動作する場合には、ワークを他の装置や壁面などに衝突させて損傷させる可能性もある。0015また、上記のインプットシェーピング制御だけではなく、振動抑制のための他のフィルタ処理を適用する場合にも同様の問題が生じ得る。振動抑制といった目的のみならず、ハンド部の速度・加速度等の適正化等の異なる目的の基にフィルタ処理を行う場合であっても、同様の問題が生じることになる。0016本発明は、上記のような課題を有効に解決することを目的としており、具体的には、アクチュエータを動作させる際の基準指令値に対して入力整形を行うことによる動作の軌道のずれを抑制し、入力整形による効果を得つつも動作の軌道を正確に保つことが可能な多関節ロボット及び半導体ウェハ搬送装置を提供することを目的としている。課題を解決するための手段0017本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。基に各アクチュエータの制御を行うように構成されていることを特徴とする。0019このように構成すると、直交座標系にて得た制御指令値を基にして所定の入力整形を行った後に関節座標系に変換することで、入力整形による効果と軌道の正確性とを両立させることが可能となる上に、特定の冗長領域において座標変換の影響により位置制御が不安定となることを抑制しつつ入力成形の効果を維持させることができるため、よりアーム要素の軌道の正確性を高めることが可能となる。前記冗長領域内に対応するものとして判定するように構成することが好適である。生成するよう構成することが好適である。0022また、上記冗長領域の判定をより具体的な簡便な手法により行うためには、関節同士が重なり合う位置、又は、関節とハンド部の基準位置とが重なり合う位置を中心としてアーム要素が所定の範囲内にある姿勢を前記冗長姿勢とするように構成することが好適である。行う所定の入力整形が、前記ハンド部の振動を抑制するためのインプットシェーピング制御としてのフィルタ処理とするように構成することが好適である。0024また、本願発明の半導体ウェハ装置は、上記の多関節ロボットを備えるとともに、当該多関節ロボットを水平多関節型ロボットとして構成し、前記ハンド部上に半導体ウェハを載置させつつ、当該半導体ウェハの搬送を行うように構成したものであり、このように構成することで、精密な動作を要する半導体ウェハ搬送装置を効果的に実現することが可能となる。発明の効果0025以上説明した本発明によれば、アクチュエータを動作させるための基準指令値に対して入力整形を行うことで生じるハンド部の軌道のずれを抑制し、入力整形による効果を得つつも軌道を正確に保つことが可能な多関節ロボット及び半導体ウェハ搬送装置を提供することが可能となる。図面の簡単な説明0026本発明の第1実施形態に係る多関節ロボット及びこれを備えた半導体ウェハ搬送装置の平面図。同多関節ロボットを模式的に示す構成図。同多関節ロボットにおけるアーム要素の構成を模式的に示す平面図。同多関節ロボットにおける各関節の駆動手段を模式的に示す構成図。同多関節ロボットにおける各関節の座標の定義を示す説明図。各関節を駆動するモータに与える指令値を決定するためのブロック線図。冗長領域における制御指令値の変化の一例を示す説明図。作成する区間の一例を示す説明図。同多関節ロボットによるハンド部のXY平面内軌道の一例を本発明適用前後で比較して示す説明図。図9に係る動作を行わせた際の残留振動を本発明適用前後で比較して示す説明図。本発明との比較例として関節座標系の軌道データを基に生成した制御指令値により動作させた際のXY平面内軌道の一例を示す説明図。図9実施例0027以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。0028図1は、本発明の実施形態における多関節ロボット1を中心として、これを備えた半導体ウェハ搬送装置TDとして構成したものである。多関節ロボット1はフレームFrを介して、ロードポートLP1〜LP4と接続されており、このロードポートLP1〜LP4内に収容するウェハ(半導体ウェハ)Wの入替作業を行うことができるようになっている。図10029ロードポートLP1〜LP4は多関節ロボット1に対向しつつ、一列に並んで配置されており、多関節ロボット1の位置は、ロードポートLP1とLP2の中間となるように設定されている。0030ここで、本発明においては、ロードポートLP1〜LP4を配置する方向、すなわち図中の右方向をX方向として定義し、これに直交する方向、すなわち図中の上方向をY方向として定義する。鉛直上方向、すなわち紙面手前方向をZ方向として定義する。平面視においてX軸を基準に反時計回りの方向をφ方向と定義する。0031図中においてウェハWの内部に記載している黒丸印は、このウェハWの中心位置であり、多関節ロボット1の制御を行う際の基準位置Pwとなる。各ロードポートLP1〜LP4において記載した黒丸印は、ウェハWの搬送先を示すものであり、これらの位置に上記の基準位置Pwを合致させるように行わせる。0032この多関節ロボット1の構成を図2に示す。多関節ロボット1は大きく分けて機械装置部2と制御部3とから構成されており、制御部3から与えられる制御指令値に基づいて、機械装置部2が動作するようになっている。図20033まずは、この機械装置部2の構成について図3を基に説明する。機械装置部2は、ベース4より順次関節J1,J2,J3を介して接続された第1アーム要素11、第2アーム要素12及び第3アーム要素13を備える水平多関節型に構成されており、各アーム要素11〜13が、XY平面に平行で且つZ方向にずれた平面内で回動可能となっている。図30034具体的には、第1アーム要素11はベース4上の所定位置に回転軸STを中心とする回転自由度を有する第1関節J1を介して回動可能となるように設けられている。この第1アーム要素11の先端には、回転軸SRを中心とする回転自由度を有する第2関節J2を介して、第2アーム要素12が回動可能に設けられている。この第2アーム要素12の先端には、回転軸SHを中心とする回転自由度を有する第3関節J3を介して第3アーム要素13が回動可能に設けられている。上記回転軸ST,SR,SHは、互いに平行となるように設定されており、こうすることで第1〜第3アーム要素11〜13は、互いに平行な平面内を回動するようになっている。それぞれZ方向にずれた位置に設けられているため、第1〜第3アーム要素11〜13および第1〜第3関節J1〜J3は相互に干渉することが無く、互いに回動を妨げることがないようになっている。0035末端となる第3アーム13の先端にはU字型のハンド部Hが、先端側を開放する向きに設けられており、第3アーム13と一体化して動作するようになっている。このハンド部H上に、ワークとしてのウェハWを保持することが可能となっており、U字型の中心近傍に上述の基準位置Pwが設定されている。0036機構上は、第1関節J1の中心となる回転軸STより第2関節J2の中心となる回転軸SRまでが第1リンク11Lを構成し、第2関節J2の中心となる回転軸SRより第3関節J3の中心となる回転軸SHまでが第2リンク12Lを構成することになる。同様に、第3関節J3の中心となる回転軸SHより上記基準位置Pwまでを第3リンク13Lとして考える。0037第1〜第3関節J1〜J3には、それぞれ対応するサーボモータM1〜M3が組み込まれている。第1サーボモータM1は、固定部がベース4に取り付けられて回転部が第1アーム要素11に取り付けられているため、制御指令値を通じてベース4に対する第1アーム要素11の回転角度を規制することになる。第2サーボモータM2は、固定部が第1アーム要素11に取り付けられて回転部が第2アーム要素12に取り付けられているため、制御指令値を通じて第1アーム要素11に対する第2アーム要素12の回転角度を規制することになる。第3サーボモータM3は、固定部が第2アーム要素12に取り付けられて回転部が第3アーム要素13に取り付けられているため、制御指令値を通じて第2アーム要素12に対する第3アーム要素13の回転角度を規制することになる。0038サーボモータM1〜M3には、図4に示すように、制御部3よりサンプリング周期ごとで適宜制御指令値が与えられて駆動がなされる。制御指令値は、角速度指令としてサーボドライバD1〜D3に与えられ、サーボドライバD1〜D3では適宜モータM1〜M3に適した形式で動力が与えられる。モータM1〜M3と関節J1〜J3の間には減速機を設けることも好適である。本実施形態では、制御指令値として角速度指令を使用したが、角速度指令に代えて角度指令を用いるように構成することも可能であり、サーボドライバによる設定の容易性等を考慮して適宜変更することが適切である。図40039図5は、上述した第1〜第3リンク11L〜13Lを模式的に示したものである。ここで、各リンク11L〜13Lの長さをそれぞれL1,L2,L3とする。本実施形態では、第1リンク11Lと第2リンク12Lとは同一の長さ(L1=L2)となるように設定しており、これらに対して第3リンク13Lの長さL3を80%程度に設定し、ハンド部HにウェハW(図3参照)を保持させた場合のウェハWの先端までの長さが、第1リンク11L及び第2リンク12Lと同等になるようにしている。することで、ウェハWを広い領域内で自由に動作させることが可能となっている。L1,L2とL3との関係は必須ではなく、ロボットの剛性確保や配置等によっては、L1,L2よりもL3を大きく(L3>L2,L3>L1)するような設定も可能である。図3図50040ベース部4(図3参照)に対する第1リンク11Lの相対角度θ1、第1リンク11Lに対する第2リンク12Lの相対角度θ2、第2リンク12Lに対する第3リンク13Lの相対角度θ3を決定することで、ハンド部Hにおける基準位置Pwの絶対的な位置を決定することができる。この基準位置PwのXY平面上における座標x,yは、後述する運動学変換によって相対角度θ1,θ2,θ3によって表すことが可能となる。同様に、ハンド部Hの姿勢としての第3リンク13Lの絶対角度φも、相対角度θ1,θ2,θ3によって決定することができる。図30041ここで、ハンド部Hの基準位置Pwを示すXY平面上での座標データ(x,y)及びハンド部Hの姿勢を示すXY平面上での角度データ(φ)は、ハンド部Hの絶対的な位置及び姿勢を示すものであり、これらをまとめて、直交座標系位置データ(x,y,φ)と称し、これを時系列に従って変化させたデータを直交座標系軌道データ(x,y,φ)と称す。0042このハンド部Hの位置及び姿勢は、上述したように、図5に示す各リンク11L〜13Lの回転角θ1〜θ3と長さL1〜L3によっても表すことができるが、各リンク11L〜13Lの長さL1〜L3は固定値となるために、結局のところ各リンク11L〜13Lの回転角θ1〜θ3、すなわち各関節J1〜J3におけるリンク11L〜13Lの相対回転角θ1〜θ3のみを変数として表すことが可能である。そこで、これらの回転角θ1〜θ3をまとめて、関節座標系位置データ(θ1,θ2,θ3)と称し、これを時系列に従って変化させたデータを関節座標系軌道データ(θ1,θ2,θ3)と称す。図50043次に、図2に戻って、制御部3の構成について説明を行う。これら各部は、CPU、ROM、各種インターフェイス等を備えたパソコン等の情報処理装置において、予め記憶されている制御指令値生成ルーチンをCPUが実行することで制御指令値を生成し、この制御指令値を、サーボドライバD1〜D3を介してモータM1〜M3(図3,図4参照)に与えるまでの動作をソフトウェア及びハードウェアが協働して実現するものである。31では、具体的な制御指令値を決定するための基準となる基準指令値として、ハンド部Hの位置を時系列で表した直交座標系軌道データ(x,y,φ)を基に、直交座標系速度データ(vx,vy,vφ)を設定する。直交座標系軌道データ(x,y,φ)は、外部より直接与えることも、内部に記憶しておくように構成することも可能である。他のデータを基にして演算によって求めるようにすることも可能であり、本実施形態においては、データの共有化を図るために、各関節の角速度目標値(Ω1,Ω2,Ω3)を記憶しておき、これを基に直交座標系速度データ(vx,vy,vφ)を演算によって導出して設定するようにしている。0046具体的には、まず、各関節の角速度目標値(Ω1,Ω2,Ω3)を積分することによって各関節の角度目標値(θ1,θ2,θ3)を導出する。この角度目標値(θ1,θ2,θ3)を基に、次のような順運動学変換式を用いて直交座標系軌道データ(x,y,φ)を導出する。0047さらに、こうして得られた直交座標系軌道データ(x,y,φ)より、サンプリング時間Δtによる変化量、すなわち直交座標系速度データ(vx,vy,vφ)を次のような式を用いて導出する。(^vxn(t),^vyn(t),^vφn(t))を生成する。0050ここで、各記号に付した添え字の位置は数式に記載しているものが正しく、「^」は、振動抑制のための入力成形後の指令であることを意味している。iは考慮する振動のモード数(i=1,2,...,n)を指し、予めオフラインで行っておく振動測定結果より、機械装置部2における固有角周波数fi及び減衰係数ξiの同定を行い、これらを振動特性として振動特性記憶部34に記憶させておく。入力整形とは、制御に用いる入力信号の波形を異なる波形に整形するための処理を指し、デジタル信号、アナログ信号による処理の双方を含む概念で用いられる。(^vxn(t),^vyn(t),^vφn(t))の導出は、次の数7〜11記載の式を繰り返し計算することによって行い、n次モードまでの制振効果を付加する。ωi=2πfiである。して制振効果を付加した直交座標系速度データ(^vxn(t),^vyn(t),^vφn(t))を得る。して、制振効果を付加した関節座標系速度データ(^ω1,^ω2,^ω3)を導出する。具体的には、まず、直交座標系速度データ(^vxn(t),^vyn(t),^vφn(t))を積分することによって、制振効果を付加した直交座標系軌道データ(^x,^y,^φ)を導出する。この制振効果を付加した直交座標系軌道データ(^x,^y,^φ)を基にして、次のような逆運動学変換式を用いて制振効果を付加した関節座標系軌道データ(^θ1,^θ2,^θ3)を導出する。この逆運動学変換式は、L1とL2が同じ長さであるときのものである。0054ここで、A,Bは、図5に示した回転軸SHのX,Y座標を各々示すものであり、Lは、回転軸STと回転軸SHとの相対距離を示すものである。して、制振効果を付加した関節座標系速度データ(^ω1,^ω2,^ω3)を導出する。0056ここで、数12〜20記載の式、その中でも特に数15記載の式より分かるように、回転軸SHの座標(A,B)が回転軸ST(0,0)の座標と同一になる場合には無限個数の解が得られ、両者が近づくことで関節座標系軌道データ(^θ1,^θ2,^θ3)は大きく値が変化することになる。0057これは実機においては、次のことを意味する。本実施形態のように、第1リンク11Lと第2リンク12Lの長さが同一である場合、第1関節J1と第3関節J3とが、より具体的には回転軸SHと回転軸STとが重なり合う状態において、回転軸SRの位置は無限に選択することができる。これは、回転軸SHと回転軸STとが近接した状態となる姿勢において、関節J2の位置が不安定になることを示しており、こうした姿勢のことを冗長姿勢と称し、こうした姿勢を採る各アーム要素11〜13の位置を冗長姿勢位置と称する。本実施形態においては、この冗長姿勢位置を含む、位置制御が不安定となる可能性のある制御領域を冗長領域と称する。0058具体的な例としては、図1に示す位置より多関節ロボット1を動作させて、ウェハWの中心を示す基準位置PwがX軸の負の方向(図中の右方向)にずれたロードポートLP2のY方向手前の位置より、ロードポートLP3のY方向手前の位置までX方向に平行移動させた場合に、図7のような関節角度の変化が生じる。何らの補正(補間)を行っていない場合には、図中白丸のプロット点に示すデータから分かるように、冗長姿勢となるポイントの前後で、大きく関節角度が変化することになる。した急激な関節角度の変化は、搬送中の振動を助長するものとなり好ましくない。図1図70059そこで、本実施形態においては、上記冗長領域より僅かにおおきな領域を各冗長領域に対応する補間領域として、その区間内で関節角度が滑らかに変化するようにしている。35において、図8に示すようなテーブルデータを備えている。以下、図1を参照しつつ図8の説明を行なう。図1図80061表中に記載した搬送開始点及び搬送終了点は、ロードポートLP1〜LP4に対応する位置を示すものであり、LP1と記載している箇所は、ロードポートLP1のY方向手前の位置、すなわち図1記載の状態よりウェハWをX軸の負の方向(図中の左方向)に搬送させた位置を示している。LP2(EX)と記載した位置は、ロードポートLP2の内部(図中の黒丸の位置)にまでウェハWを収容させるよう、アーム要素11〜13(図2参照)を伸張させた状態とすることを示している。図1図20062すなわち、搬送開始点LP1、搬送終了点LP2とするものは、ロードポートLP1のY方向手前の位置より、ウェハWをX軸に平行な向き(図中の右方向)に移動させ、ロードポートLP2のY方向手前に位置させ、さらにアーム要素11〜13を伸張させることで、Y方向(図中上方向)にウェハWを搬送させて、ロードポートLP2内に収容することを意味している。この場合においては、冗長領域を通過することがないために、補間は不要である。0063同様に、ロードポートLP2のY方向手前からロードポートLP1の内部までの搬送経路、ロードポートLP3のY方向手前からロードポートLP4の内部までの搬送経路、及び、ロードポートLP4のY方向手前からロードポートLP3の内部までの搬送経路においては、冗長領域を通過しないために補間は必要としない。これは、本実施形態における機械装置部2は、ロードポートLP2とLP3との間に設けられているために、この中心位置を跨ぐことで回転軸STと回転軸SH(図5参照)とは近接して冗長姿勢をとることになるが、中心位置を跨ぐことが無い限り回転軸STと回転軸SHとは一定以上に近接することが無く、冗長姿勢とならないためである。図50064そのため、この中心位置を跨ぐ搬送経路、例えば、ロードポートLP1のY方向手前からロードポートLP3の内部までの搬送経路においては、冗長領域を通過するために補間を必要とする。表中で記載した補間区間(LP1,2側)、及び、補間区間(LP3,4側)との部分は、当該搬送経路中で冗長領域として判断するための基準となる関節J1と関節J3の相対距離、すなわち回転軸STと回転軸SH間の相対距離であり、この範囲内にある限り冗長領域に対応する補間領域にあると判断する。0065以上のような補間区間は装置特有の所定値として各搬送経路に対応させ個別に設定しているが、これを全ての搬送路で共通のものとすることも、さらに細かい数値データとして記憶させておくことも可能である。0066なお、冗長領域としての判断基準として、回転軸の相対距離以外のものを使用することも可能である。本実施形態の多関節ロボット1ではL1とL2の長さが同じであるため、冗長領域の判断をθ1とθ2の相対角度を基に行うこともできる。この場合、所定の角度Δαを設定して、π−Δα<θ2−θ1<π+Δαを満たす範囲を冗長領域とすることができる。35に記憶された補間区間データを読み出しつつ、指令値に対応する回転軸STと回転軸SHの位置が、冗長領域に対応するものであるか否かを判定する。しての直交座標系速度データ(^vxn(t),^vyn(t),^vφn(t))を基に、これを積分して直交座標系軌道データ(^x,^y,^φ)を導出した上で、上述の数12〜14記載の式を用いて、回転軸STと回転軸SHとの間の距離Lを導出する。33における機能と同一であるため、演算の一部を共有するものとして両者を構成することも可能である。35に記憶された補間区間データの範囲内にあるものか否かを判定し、当該データの範囲にある場合には冗長領域に対応した補間領域にあるものとする。33に指令を行い、対応するデータを使用禁止とさせる。することで、補間領域内では、制御上の発散が生じて不安定となる恐れのある関節座標系速度データ(^ω1,^ω2,^ω3)を使用しないことになる。