試料上のレボルバでフォーカシングします。規格に準拠しており、クラス5のクリーンルーム基準をクリアクリーンルーム半導体の製造とウェハの検査はクリーンルーム内で行われます。規格により分類され、1立方mあたりの粒子の数で区別されます。この基準に準拠しクラス5のクリーンルーム要件を満たします。クラス100と同等です。クリーンルームキットには、7穴の対物レンズレボルバ、防塵部品、スニーズガードが含まれます。範囲内で正確で高速のフォーカシングを反射試料に対して実行できます。オートフォーカスを様々なアプリケーションに活用してください。グローバル発行者ビジネス情報に関してデータ保護の。