主催:MEMSパークコンソーシアム概要:講師2名をお招きし、下記のとおり講演会を開催しました。1件はコロラド州立大学のコリンズ教授による低損傷プラズマに関するもので、コリンズ教授が提唱されてきた異常グロー放電を用いた方式の詳細をご紹介いただきました。今後、エッチングやCVDなどへの応用が期待されます。末光教授により、単結晶Si基板上のグラフェンエピ膜とデバイス応用に関する最新の研究をご紹介いただきました。いずれもMEMS分野での様々な機能システムに応用が期待されます。University参加実績:14名MEMSPC会員の方はこちらから資料をダウンロードできます。