高精度ミラーを実現するジェイテックコーポレーションのナノ加工技術を紹介します。加工とは、微粒子と被加工物表面間の化学反応を利用した独自の表面ナノ加工技術です。超純水中で被加工物表面原子と反応性のある微粒子を、被加工物の表面原子に作用させて取り除いていくことで、原子レベルで平坦な完全表面を実現します。加工とは、大気圧プラズマを利用したドライエッチング技術です。反応させて揮発性の物質に変えることで除去するという加工法です。同法による数値制御加工は、加工量をプラズマの滞在時間で制御するため、機械精度等の影響を受けにくく、被加工物表面の原子配列を乱さないのが特徴です。当社ではさらに大阪大学の独自の技術である多電極数値制御法の実用化を図り、加工効率の格段の向上を目指しています。PtやNi等を成膜した触媒機能を持つパッドを加工対象物上で超純水を加工液として動かすことで、被加工表面上の凸部のみ化学的に除去する触媒作用を利用した独自のエッチング技術です。ガラスやSiCを始めとする様々な材料表面を原子スケールで平坦化します。0.7nm)の実現を目指しています。