センサ1は、基板10と、基板10側から絶縁層21、抵抗体層22、および保護層23がこの順で積層された積層構造体20とを備える。熱流束センサ1は、抵抗体層22に設けられた抵抗体25の抵抗値に基づいて、熱流束を求める。概要エンジンの内壁面を通過する熱流束の測定は、エンジンからの熱損失を把握するために、エンジンの研究開発において重要視されてきた。組み合わせた測定方法がある(例えば、特許文献1~4参照)。異常検知方法並びにエンジンの動作異常検知方法に関する。前記抵抗体の抵抗値に基づいて、熱流束を求めることを特徴とする熱流束センサ。前記抵抗体の抵抗値と、前記抵抗体の抵抗温度係数に基づいて前記抵抗体の温度変化を求める請求項1に記載の熱流束センサ。前記積層構造体は、前記保護層に積層された導電性材料による遮蔽層を備える請求項1または2に記載の熱流束センサ。前記基板の基板厚さが、下記(1)式を満たす請求項1~3のうちのいずれか1項に記載の熱流束センサ。掲載中の発明について更に詳しい内容の説明を御希望の際は、お気軽にお問い合せください。同じキーワードでJ-STORE内を検索することが出来ます。