「環境にやさしい」など多くのメリットがあります。蒸気で洗浄が可能なのか?蒸気と水の混相流を超高速で噴射することで微小な水滴を対象物に当てた時に発生するマイクロキャビテーションを利用します。似たような技術に超音波洗浄があります。どのような洗浄に適していますか?基本的に物理力(衝撃波)で洗浄しますので、表面に付着した異物(固形物)、レジストなどの有機物、加工した時にでる切り屑、エッチング時の反応生成物などに適しています。1%以下に希釈された薬液でアシストすることでさらにその効果を高めることもできます。LEDの製造工程で金のリフトオフにも使えますか?使えます。処理枚数が多くなるほどその効果が期待できます。高温で高濃度のオゾン水を作る技術と高濃度のまま対象物の表面に供給する技術によって可能になります。