ナノ計測技術オプティカル事業Optical高精度X線ミラーとは製品紹介ナノ加工技術ナノ計測技術MSIとRADSICMM形状誤差がナノオーダー(原子数個分)の高精度X線ミラーを製作するには、高い計測精度と再現性を有するナノ計測技術が必要です。当社では独自に開発したMSI、RADSI、CMMなどのナノ計測技術を用いて高精度X線ミラーを製作しています。らによって研究開発された表面形状ナノ計測法で、高精度X線ミラーの製作に不可欠な技術です。Interferometry)は白色干渉計で微小領域を計測することで表面粗さを評価し、スティッチング機構によりミラー全体のナノ形状を計測する技術です。X線ミラーではナノレベルの表面粗さ(高周波成分)が反射率に大きく影響します。MSIはステージ機構に起因する誤差により、ミラー全体の大きなうねり(低周波成分)の計測精度に限界があります。Interferometry)はフィゾー型干渉計に独自のスティッチング機構を開発し、測定表面を徐々に傾けて、取得した各計測データをつなぎ合わせることにより全体の形状データを計測する技術です。X線ミラーではミラー全体の大きなうねりが集光サイズに大きく影響します。RADSIにより、これまで困難であった非球面形状についても、ナノオーダーの形状計測が可能となります。ジェイテックコーポレーションでは、MSIとRADIそれぞれの計測データ(MSIの高周波成分とRADSIの低周波成分)を組合せ、X線ミラー全体の形状計測において、全空間波長の計測誤差を最小限に抑え、ナノオーダーの形状計測を実現しました。当社では大阪大学との共同開発により、MSIとRADSIを用いた自動化装置を内製化し、ミラー製造の効率を図っています。同技術については大阪大学と共同で多数の特許を取得しています。当社では需要の高まっている長尺ミラー用の計測技術を独自開発し、長さ1mの長尺非球面ミラーについても、ナノメートルオーダーの形状計測を実現しました。Machine)はレーザープローブを用いて高さデータをナノオーダーで高精度に計測するナノ3次元形状計測技術です。ジェイテックコーポレーションのCMM技術は、従来の干渉計を用いた計測方法では不可能であった曲率半径の小さい急峻なミラー(回転楕円形状のミラーなど)に対しても、ナノオーダーの形状計測が可能となりました。