C)との関係を制御する。C)の極性が非計測イオン103の極性と同じとなるように計測膜電源18を制御する。C)との関係によれば、非計測イオン103を計測イオン感応膜7に対して引き寄せることがない。その結果、非計測イオン103が計測イオン感応膜7に作用することで生じる計測ISFET2の出力におけるドリフトを抑制することができる。従って、pHセンサ1は、pHを長期間に亘って連続的に安定して得ることができる。[0049]換言すると、非計測イオン103の浸潤を抑制する電界を生じさせる計測膜電極17の電極リッジ17aは、計測イオン感応膜7において、計測対象101の電位とソース9の電位との電位差を捉える感応領域S1に隣接するように設けられる。pHセンサ1は、計測対象101と計測イオン感応膜7との間の電位差を制御する。その結果、計測イオン感応膜7への非計測イオン103の浸潤が抑制される。TH)の電位を保つことも可能である。非計測イオン103の浸潤の抑制によって、ドリフトが抑制される。その結果、pHの計測を行いつつ、計測イオン感応膜7に対する非計測イオン103の浸潤を抑制することができる。従って、長期間に亘って安定した計測を実現できる。T)よりも小さくなるように、計測膜電源18を制御する。この構成によれば、極性が負である非計測イオン103に起因するドリフトを抑制することができる。[0051]pHセンサ1は、計測膜電源18と接続され、計測イオン感応膜7に埋め込まれた計測膜電極17をさらに備える。計測イオン感応膜7の内部には、電界が生じる。この構成によれば、当該電界の勾配を大きくすることができる。従って、非計測イオン103が計測イオン感応膜7により近づきにくくなる。その結果、非計測イオン103に起因するドリフトをさらに抑制することができる。[0052]計測膜電極17は、複数の電極リッジ17aを含むストライプ型の電極である。この構成によれば、非計測イオン103の計測イオン感応膜7への浸潤を抑制することができる。この構成によれば、pHを計測することができる。[0053]図4の(a)部に示すように、電極リッジ17aは、計測ISFET2のソース9とドレイン11との間に流れるドレイン電流200の方向と交差する方向に延びる。電極リッジ17aは、ドレイン電流の方向に沿って互いに離間する。この構成によれば、計測イオン感応膜7が生じる電位差を好適に捉えることができる。[0054]図4の(b)部は、図4の(a)部に示す構成を電気回路の等価モデルである。G)が変化する(式(3)参照)。G)に応じて、ソース9とドレイン11との間のチャネル13におけるドレイン電流の流れやすさ(つまり電気抵抗)が変化する。従って、図4の(b)部に示すように、図4の(a)部に示す構成は、ソース9とドレイン11と電気的接続において、複数の抵抗成分Rが直列に接続されたものとしてモデル化できる。抵抗成分Rは、電極リッジ17aを含まない感応領域S1に対応する。[0055]図4の(b)部に示す直列接続モデルでは、各抵抗成分Rの大きさの変化が、ドレイン電流に敏感に反映される。PH)の変化を好適に捉えられる。その結果、精度の良いpHを得ることができる。[0056][第2実施形態]図5を参照しつつ、第2実施形態のpHセンサ1Aについて説明する。第2実施形態のpHセンサ1Aは、計測膜電源18及び計測膜電極17を備えない点で、第1実施形態のpHセンサ1と相違する。pHセンサ1Aのその他の構成は、第1実施形態に係るpHセンサ1の構成と同じである。F)を制御しない動作を例示した。T)を能動的に制御することにより、浸潤を抑制し得る条件を満たしてもよい。T)を能動的に制御することにより、非計測イオン103の浸潤を抑制する。電源制御部19は、第1動作を行う。T1)が計測対象電極14を介して計測対象101に提供される。第1動作は、予め設定された所定時間だけ継続される。T1)が計測対象101に提供された状態では、計測ISFET2から出力電圧が得られる。従って、第1動作は、計測動作である。出力電圧は、計測イオン感応膜7への計測イオン102の捕捉の程度に応じる。F)との関係は、式(5)により示される。19は、第2動作を行う。T2)を計測対象101に提供する。第2動作は、ドレイン11の電極の電圧とソース9の電極の電圧との差分を小さくする。換言すると、第2動作は、ドレイン11の電極とソース9の電極とを互いに同電位とする。第2動作は、ドレイン11の電極の電圧と基板4の電極の電圧との差分を小さくする。換言すると、第2動作は、ドレイン11の電極と基板4の電極とを互いに同電位にする。T2)との間には、電圧差が生じない。換言すると、この状態は、ソース9を計測対象電極14に直結した状態である。従って、計測ISFET2からの出力は得られない。F)との関係は、式(6)により示される。F)とは互いに同電位となる。この状態では、正の電荷又は負の電荷を有する非計測イオン103に対して、非計測イオン103を計測イオン感応膜7に引き寄せる力が生じない。従って、計測イオン感応膜7へ非計測イオン103が浸潤し難くなる。その結果、ドリフトの程度を低減することができる。[0061][第3実施形態]図6を参照しつつ、第3実施形態のpHセンサ1Bについて説明する。pHセンサ1Bの装置構成は、pHセンサ1の装置構成と同じである。pHセンサ1Bは、その動作がpHセンサ1と相違する。F)とを互いに同電位とする。F)との差分を小さくする。F)(グラフG6b)との関係を示す。