:日立ハイテクこのウェブサイトでは、JavaScriptの機能を有効に設定していただくことで、最適なコンテンツをご覧いただけます。マイクロスコープを一つにまとめた大型ユニットAFM5400Lなら、原理の異なるそれぞれの測定機器の性能を活かしながら、狭視野から広視野範囲までをシームレスかつ高精度に測定できます。マイクロスコープの3つのヘッドを搭載する複合機です。それぞれの機器の特徴である基本性能をそのままに、従来の観察機器にない広範囲から狭範囲までのシームレス観察を実現しました。SPMまでの観察を連動させることで、従来のSPMにないスムーズな測定位置合わせが可能。透明体の非破壊層断面解析を実現。大型試料の形状測定を極める高精度大型プローブ顕微鏡ユニットAFM5400Lは、様々な大きさの試料に対応できる汎用型SPMです。自動で行えるので、誰でも簡単にナノメータースケールでの測定が行える品質管理にも適応したシステムになっています。大型試料ステージを標準装備。6インチまでの試料の全面電動ステージ制御観察が可能です。方でも、測定のたびにマニュアルを見る必要はありません。ナビゲーション機能がカンチレバー取り付け~チューニング~測定パラメータ決定~画像処理・解析~出力までの一連の操作をウィザード形式でガイドします。カンチレバーは予めステージ上の専用台に並べ、光学顕微鏡の中心へレバー先端を移動させるだけで、位置合わせとセットができます。光軸調整アシスト機能によって面倒なレーザ光軸調整の手間が大幅に省けます。何よりもヘッドを外さずにレバーの交換が行えるので、大型機特有であるレバー交換時のスキャナ落下破損事故の心配がありません。高精度大型プローブ顕微鏡ユニットAFM5400Lは、多くのSPMの課題であるS/N比・ドリフト問題のみならず、スキャナのX-Yクロストークに起因する測定誤差にも着目。従来から定評のある、クリープ・ヒステリシスの少ない「クローズドループスキャナ」を更に進化させた、X-Yクロストークのない「Accurateスキャナ」の搭載により、測定形状の信頼性を大きく向上させました。多くのSPMが抱える形状測定出力の非対称性やX-Y形状歪の問題を解決します。光ヘッドに「低コヒーレント(光干渉が少ない)光源」を採用することで、高出力時のモードホップノイズや戻り光のノイズ発生を無くし、S/N比を1.5倍向上。用途・技術を見るアプリケーション走査型プローブ顕微鏡(SPM/AFM)のアプリケーション(測定事例)を紹介しています。当社の走査型プローブ顕微鏡をお使いのお客様向けの情報です。走査型プローブ顕微鏡スクール走査型プローブ顕微鏡スクールのご案内です。SPM/AFMの概要、測定原理から実機の操作方法といったを中心にした、初心者の方に最適な内容です。「S.I.navi」は、日立ハイテク取扱分析装置に関する会員制サイトです。お客さまの知りたいこと、日々の業務に役立つ情報を「S.I.navi」がサポートします。(ご入会は無料です)日立電子顕微鏡をご使用されているお客さまは、「S.I.navi」上で製品情報をご登録いただくと、日立電子顕微鏡ユーザー限定サイト「Semevolution(セメボリューション)」にて、さらに多くの関連情報をご覧いただけます。