Japanese)弗素を含有したダイヤモンド様炭素膜を被覆し、被膜表面から深さ0.1μm以内の弗素濃度が10~40at%とした医療用被覆部材とする。医療用被覆部材においては、被膜表面からの深さが、0.1μmより深い領域において、弗素濃度がない方が機械的な耐摩耗性や基材との密着性が優れるが、10at%未満の低濃度であれば存在しても良く、基材に対して連続的に濃度が漸減しても良い。弗素と同じ領域に存在する被膜表面から深さ0.1μm以内の水素濃度を2~30at%に制御することによって、血液、組織液や血管、生体組織などの人体組識はおろか使用される医薬品に対する耐付着性や耐擬着性を維持しつつ、機械的な特性の低減を抑制できるため好ましい。水素濃度が2at%未満では被膜内の圧縮残留応力が増大するために剥離しやすくなり、30at%より多くては機械的な特性(硬さ、結晶性)が低下する。そのため、被膜表面から深さ0.1μm以内の水素濃度を2~30at%と定めた。ダイヤモンド様炭素膜が、SP2結合とSP3結合を有し、かつ、被膜と部材の界面から0.1μm以内にSP3/SP2比が高い領域を有することが好ましい。Japanese)耐付着性や耐擬着性を有し、さらに基材のへ強固な密着性及び高い耐摩耗性を併せ持つ医療用部材を提供する。SP2/SP3比及び膜厚を適切に調整することによって医療用部材の表面にDLC被膜を形成するものであり、このようにして得られた表面にDLCを被覆した医療用被覆部材は、耐付着性が優れ、耐凝着性とともに、機械的な耐摩耗性及び密着性を併せ持っている。血液や筋肉、血管などの人体組織あるいは医薬品に対する耐付着性や耐擬着性を維持しつつ、機械的な特性を抑制できる。されに、この医療用DLC被覆部材は、耐摩耗性が向上し、基材に対するDLC被膜の密着性が改善され、さらに得られた医療用器材は実用的な、かつ、安定性が著しく優れた部材である。