CMF)純水/超純水システム排水回収システム吸着剤を使用し空気中から窒素ガス等を除去して濃度90-93%の酸素ガスを製造する装置です。液体酸素などに比べ安価で安定した酸素が供給できるため、多量の酸素を利用する場面で導入されています。Adsorption)の2種類があり、VSA酸素発生装置は起動停止が容易であるため、立上げの複雑な深冷分離に代わる酸素発生装置として活用されています。酸素使用量の変動に応じて自動で動力を削減します。柔軟な酸素供給量が得られます(50~4,000Nm3/h)。オンサイトで高純度酸素を発生させるため、従来の液体酸素等に比べコストダウンが図れます。全自動で運転するため、運転管理が容易です。付けることができます。