科学技術は人類と地球の未来を救う!最新の技術情報を分類し提供する総合サイト。持つダイヤモンドカンチレバーおよび世界初の電気信号による駆動と、センシングを一体化した単結晶ダイヤモンドMEMSセンサチップの開発に成功しました。持つダイヤモンドカンチレバーおよび世界初の電気信号による駆動と、センシングを一体化した単結晶ダイヤモンドMEMSセンサチップの開発に成功しました。本成果は、既存のシリコン製MEMSの感度や信頼性を大幅に向上させるダイヤモンドMEMSという新しい分野を開く成果として期待されます。プローブなどに使われています。今後、防災や医療などの分野で応用が見込まれており、感度や信頼性のさらなる向上が求められています。MEMSセンサの実現が期待できますが、その硬度から3次元での微細加工が困難でした。本研究グループは、イオンビームを用いた加工技術「スマートカット」を開発し、2010年に単結晶ダイヤモンドのカンチレバー作製に成功しました。表面の欠陥などが原因で感度は既存のシリコン製のカンチレバーと同等程度でした。今回、ダイヤモンド表面を原子スケールでエッチングする技術を新たに開発し、スマートカットで加工した単結晶タイヤモンドのカンチレバー表面の結晶欠陥を取り除くことで、感度を表す品質の指標「Q値」で世界最高レベルの100万以上の値を持つダイヤモンドカンチレバーの開発に成功しました。カンチレバーを振動させる回路と、振動をセンシングする電子回路を同時にカンチレバー上に集積化する新たなMEMSデバイスコンセプトを提案し、世界で初めて電気信号で駆動する単結晶ダイヤモンドMEMSチップの実証実験に成功しました。もとにダイヤモンド製のMEMSチップ実用化に向けた基盤技術を確立することで、単分子の質量の違いを検知できるような超高感度で、高速・小型かつ信頼性の高いセンサなどへの展開が期待できます。戸田雅也准教授によって行われました。JP15H03999)、TIA連携プログラム探索推進事業「かけはし」の支援を受けて得られたものです。それぞれ公開されました。コメントをキャンセルメールアドレスが公開されることはありません。コメントデータの処理方法の詳細はこちらをご覧ください。テック・アイ技術情報研究所.。