(109)g)加热所述结构(120)以形成硅化物(110)h)在所述硅化物(110)上沉积金属(112)。(108)的步骤d)。特征在于步骤a)在步骤b)之后执行。特征在于步骤c)和步骤d)同时执行。特征在于步骤e)在步骤c)之前执行。(106)上的非晶氮化硅层(107)。(107)而执行步骤e)。f)中的所述金属层(109)的沉积。h)中的沉积所述金属(110)。(109)g)加热所述结构(120)以形成硅化物(110)h)在区域(C)中将所述金属层(109)开口i)在所述硅化物(110)上沉积金属(112)。特征在于步骤a)在步骤b)之后执行。特征在于步骤e)在步骤c)之前执行。(106)上的非晶氮化硅层(107)。h)中的将所述金属层(109)开口。h)中的将所述金属层(109)开口。i)中的沉积所述金属(110)。