X線分析(XRF)では、元素分布の簡便な評価が可能です。本事例では、蒸着装置を用いて任意量のAuを成膜した4inchのSiウエハA・Bを試料として、Auの分布および総付着量の比較を行いました。面分析の結果より、Auの分布状態が確認できました(図1~4)。各画素から得られたXRFスペクトルのAu強度より付着量を比較し、ウエハBはAより多いことを確認しました(図5)。積算XRF強度より、視野内におけるAu量はB>Aであることが評価できました。※付着量の比較は、試料の構造・ウエハの面積が同じ場合に適用可能です。おける元素の付着量に関する情報を得ることができます。ご相談・お申し込み知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。