真空かつ200°C加熱環境下での精密貼り合わせが可能。クラス100のクリーンルーム対応。「SEAL」シリーズ従来のワークにストレスをかけず、カールが発生しない基本性能はそのままに、チャンバー内を真空に保ちながらMax.200°Cの加熱状況下で高精度貼り合わせを行います。クラス100のクリーンルーム対応。ガラス・フィルム業界をはじめとするニーズにお応えいたします。標準300×420mmのチャンバー室内は±3°C以内の温度管理で保たれています。温度プロファイルもヒータ性能の範囲内でしたら自由な設定が可能です。チャンバー内はリフタ機構により10mmまで上下動が可能、オプションで1MPaまで加圧できますから立体ワークなどの圧着が行えます。対角線上に配置した2台のカメラで黒丸と円の位置合わせマークが重なるように精密位置決めを行います。加熱時標準±50μm、常温時の場合±10μmまで対応いたします。チャンバーサイズ、安全対策、タクトタイム、クリーン化についてのご相談など柔軟に対応いたします。精密枚葉貼合機ガラスやレンズなどのピンポイント凹・凸面が、静電チャッキングなどを使わずに、オリジナルのチャッキング方式で、真空貼合できます。ご相談・お問い合わせなど、お気軽にご連絡ください。ONEの解決策をご提供していきます。お気軽にお問い合わせください。