プロセスに独自開発の特殊チャッキングを導入することにより、硬質材や異形、凹凸物の真空精密貼合を実現しました。従前の大型の真空チェンバーや静電チャッキング必要とせずに、高度な貼合が可能です。特殊治具により真空チェンバー内でのワーク位置ズレを防止します。大気中での高品位な貼合も行えます。静電チャッキングを使わず、大幅なコストダウンを図りつつ、高品位な真空精密貼合工程を構築できます。真空チェンバー内でワークをしっかりと吸着する、特殊チャッカー機能を導入しています。ストレスフリーの均等圧貼合を実現。凹凸面ワークの高機能性を維持したまま正確に立体貼合します。位置決め用セット治具により、ワーク位置がずれる心配がありません。CCDカメラにより自動貼合位置合わせを実現。高精度バッチ貼合(貼合位置精度±0.05mm)を叶えました。10ミクロンオーダーの位置合わせ精度ご相談・お問い合わせなど、お気軽にご連絡ください。ONEの解決策をご提供していきます。お気軽にお問い合わせください。