TI950トライボインデンターのアップグレードオプションとして、クローズド・ループ・スキャナーをご提供します。Z:15μm)、スキャナーの円弧運動を低減し、99.95%以上の線形性を実現しました。クローズド・ループ・スキャナーはスキャン位置のリアルタイムフィードバックとサブnmの低ノイズにより、スキャナーが安定するまで数ミリ秒しか要さず、なおかつピエゾのクリープやヒステリシス(履歴現象)を除去できます。クローズド・ループ・スキャナーは難しいアプリケーションに対応するため、高速かつ正確に、ナノメートル単位の場所移動が可能です。超高速で安定し、ポジショニング応答も早いクローズド・ループ・スキャナーを用いれば、通常に比べ2~3倍高速のピエゾを用いた自動測定が可能です。加えて、ピエゾのドリフトが極めて小さくなることで、試料表面の微小部を探し、位置決めするプロセスが容易になり、微小部に圧子を正確にポジショニングすることが可能です。