真空搬送ロボットELEC-RZ真空搬送ロボットELEC-RZELEC-RZはCOVOTシリーズの持つ優れた機能・性能をベースにコンパクト化と低コスト化を実現した高真空対応の搬送ロボットです。真空シールに磁性流体シールを採用し、10-6Paまでの高真空に対応します。アクチュエータを小型化することでコンパクト化を実現し、装置への搭載を容易にしました。ストロークや旋回半径、ハンドの数などにより多彩なアームを用意しています。別置き*取り付けアームおよびハンドにより異なります。データダウンロードカタログ、図面、I/Oデータのダウンロードには「ユーザー登録(無料)」が必要です。ユーザー登録がまだの方はユーザー登録ページよりご登録いただきますようお願いいたします。ユーザー登録がお済みの方はこちらからログインしてください。