電気特性異常の原因を調べたい電気特性異常の原因を調べたい特定した異常箇所の断面構造を評価することで、異常の原因を調査します。電気特性異常の場合、p-n接合の評価も有効です。空間分解能:0.1nm~倍率:×20,000~×5,000,000配線やトランジスタなど特定箇所の構造を調査します。異常箇所が1um以内で特定されている場合に有効です。測定エリア:500nm~90um□キャリア濃度:1015~1020cm-3加工した断面を探針を走査することで、p/nのキャリア分布の異常を調査します。SCMの分析事例はこちら分析のご相談・お申し込み知識豊富な営業担当が、最適な分析プランをご提案。分析費用のお見積りもお気軽にお問い合わせください。相談・お申し込みは、専用のフォームかお電話でどうぞ。