obducatobducatPSMUniJetDELOCN1CANTOPS海外取扱製品Obducat社のナノインプリントリソグラフィー装置は、独自の特許技術IPSR(樹脂製レプリカモールド)、SoftPressR(空気圧プレス)およびSTUR(熱・UVインプリント)を組み合わせることにより、高度で安定した転写を可能にし、研究開発から量産まで幅広くニーズに対応致します。樹脂製レプリカモールドマスタースタンパから樹脂製レプリカモールド(IPS)を制作し基板に転写を行うことより、マスタースタンパを長寿命化し、破損懸念を解決することができます。IPSは基板に対する追従性が良く異物による未転写領域を最小限に抑えることが可能です。空気圧プレスIPSを空気圧で基板へ押し付けることで、面内の均一な押し付けを実現しています。この空気圧による押し付けで基板のサイズ・形状・反りなどに影響されることなく、スタンパと基板の平行度は常に一定に保たれ、基板全面への均一なインプリントが行え、曲面や3次元構造物の表面加工等の高度な転写が可能になります。熱・UVインプリント熱インプリントとUV(紫外線)インプリントを同時に使用する技術で、一定温度下でUV硬化型の樹脂へインプリントを行います。この方式は、スタンパと基板との熱膨張率の違いによる問題点を解決し、高速且つ安定した転写を可能にします。nPssスタンパー加工例Obducat社ではナノインプリント装置のみならず、スタンパの製造を含めたトータルソリューションを提供しています。Systems社XProtectシリーズ生産拠点メンテナンスFAQ。