meterにこだわり、ナノメーターの精度にこわわったガイドステージを製造販売をしてきました。precisionとして定義され、NISTによって、採択され、次世代スタンダードとなるべく、今現在も研究が進んでいます。同社のステージ群はナノメートルの精度を実現する為、設計され、シンプルながら、特別な工程を通して、製造されます。製造されたステージは非常に堅牢で、納品時等にその後の調整を必要としません。半導体関連、バイオ、レーザー加工と幅広いアプリケーションの第一線で使用されてます。標準品のMTBFが>100,000時間と高い信頼性の高さにも定評があります。製品特徴モノリシックXYステージ必要最小限のパーツで構成されるモノリシックスタイルのXYステージ。ナノメートル精度を実現するリーズナブルな設計なステージです。クロスローラーガイドでありながら、エアベアリング同等の性能を誇ります。Hexapod従来のヘキサポッドの弱点である、ストローク・精度・剛性を解決して、ナノメートル精度の実現を可能としたステージです。回転軸をコントローラーに入力して、座標指定をするだけで自由に回転軸を変更しながら制御することが可能となります。Industries社のZ軸ステージ。高性能ガイドとカウンターバランスの組合せで高精度の走りを実現します。ボイスコイルモーター+エアベアリングの組合の最高級グレードもあります。Industries社の回転ステージはハイパワーのトルクモーターを組み込んでおります。ステージもあり、高性能なエアベアリングの回転ステージも用意しています。レーザーギンバルXYステージ+ギンバルステージ+Zステージの組合せにより、レーザー加工機用のパワフルなステージシステムとなります。レーザーの入射角を自由にコントロールし、3D曲線を自由にコントロールが可能となります。エアベアリングステージX軸ステージ、回転ステージ、Z軸ステージからXYプラナーまで、様々なエアベアリングシステムを用意しております。Industries社のガントリーシステムは2本のX軸を個別にコントロールが可能となっており、回転軸を持ちます。これにより精度の高い円弧補間、真直性の補間が可能となります。アッセンブリも簡易となり、ユーザーサイドでのステージ組み上げも可能となっております。Precisionとは現状の1軸ステージ向けの点と面による繰り返し精度規定に対し、点と点による繰り返し精度規格。デザイン、仕様は予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。詳細は各営業担当までお問合せください。