急速な技術革新が進む中、培ってきた技術をベースに高品質で信頼性のある製品を提供し、豊かな社会の実現に向け貢献していきます。精密制御等の取扱いに最適な高性能マイクロバルブです。微少流量を十分な解能と再現性で調整することができます。調節できる流量調整範囲は最低5SCCMから6000SCCMまで選択可能です。■高い安定性ニードルを直線運動にしたので、再現性がよくヒステリシスがありません。圧力の急激な変動、振動などがあっても開度の変動がありません。■保守管理ニードルとオリフィスボディは完全互換性があり保守が容易です。グリスなどは一切使用しておりません。