(JA)抄録/ポイント:抄録/ポイント文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。部分表示の続きは、JDreamIII(有料)でご覧頂けます。J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。本稿では,テーブルシステムの高速且つ高精度の位置決めを達成するために,微小変位領域における外乱に対するフィードフォワード補償の方法を示した。微小変位領域においては,非線形摩擦が変位に依存して非線形のスプリング特性を示すので,テーブルの位置決め精度は運動の方向,たとえば,インチング運動および繰返し運動などに従って変化する可能性がある。サーボ帯域幅の拡張は,ロバストな位置決め性能を達成するための解決策の一つでありうるが,その制御安定性は高周波の振動モードのために悪くなる。本稿では,非線形摩擦に対するフィードフォワード補償方法を示した。その外乱モデルを数学的に公式化し,そしてその外乱モデルの出力が運動方向と無関係に非線形摩擦を補償することができる。外乱モデリングおよび補償による提案の位置決め制御の方法を機械スタンドにおける線形テーブルシステムを使って実験によって検証した。文献のテーマを表すキーワードです。部分表示の続きはJDreamIII(有料)でご覧いただけます。J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。文献のテーマを表すキーワードです。部分表示の続きはJDreamIII(有料)でご覧いただけます。J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。ReservedTOP。