神奈川県Japanhttp://www.inficon.jp/小間番号6363ホーム出展製品インフィコンは真空計測器ならびに半導体産業むけのセンサ技術、プロセス制御ソフトウェア取り扱うリーディングカンパニーです。I-ZERO)搭載モデル。質量ガス分析計:各種真空装置の残留ガス分析、半導体各種プロセスPVD・CVD・ETCHプロセス対応の先進モデルをラインナップ。膜厚計(水晶振動子):5MHz、6MHzのラインナップはもちろん、様々な環境にマッチした水晶振動子を提案。他社製からの置き換え提案も可能。真空計:コンベクションピラニゲージ、ヌードゲージ、見やすいディスプレイ付真空計。限られたスペースに小型な真空計。なしの冷陰極ゲージ(特許取得)。キャパシタンスダイアフラムゲージインフィコンの真空計測技術は150年以上の歴史を持つ真空計分野では世界のトップブランドです。幅広い製品群や技術および費用効果に優れたソリューションにより、あらゆる産業や半導体アプリケーションで採用されています。過酷な製造装置環境において長期間安定した性能を発揮するよう設計されています。独自のセンサーシールドはプロセス副生成物から真空計を保護します。各種プロセスガス中の不純物及び混合ガスの変動を極めて高い感度で検出することができる、リアルタイム・プロセスモニターです。モニターリングに最適です。インレットは316ステンレス鋼のブロックから削り出し、ポンプも耐腐食性のものを採用しました。過酷な環境でも長寿命を確保できるように、イオン源にはクローズドイオンソース(CIS)を使用しており、sub-ppmレベルで汚染物質の検出が可能です。優れたクリーニング・エンドポイント・ディテクターとしてもご使用いただけます。機能と強力な解析ツールおよびインフィコン製センサーを統合することで、半導体製造装置の状態監視からプロセス分析まで幅広く対応しています。エンジニアがプロセスと装置の挙動を実質的にあらゆる側面から速やかに解析できるシステムです。不良ウェハを無くすとともに装置や設備のモニタリングによって予定外のダウンタイムを削減して歩留まりの向上に貢献します。データへドリルダウンできる便利なツールも活用できます。(デジタルツイン)を構築してスマートファクトリーを実現します。7情報メンテナンスフリー:着工来歴から製品フローや装置割付けは自動修正が可能です。半導体関連用途でのリークテスト用に設計されています。く正確な結果、クイックスタート、可動性、システムの信頼性といった半導体の厳しい要求事項を満たすよう特別に設計されています。進化した真空システムによって、大気圧からのリーク検出が可能になりました。狭いスペースでも高い移動性を実現しています。