一般的な200kVの電子顕微鏡と比較して非常に厚い試料を透過することが可能です。この装置の大きな特徴として各種ガスによる金属の酸化や触媒反応など化学反応をその場観察できます。EDSもしくはEELSと兼用すると原子レベルでの元素分析が可能です。EDSもしくはEELSと兼用すると原子レベルでの元素分析が可能です。EM2100M加速電圧200kVの電子顕微鏡で、EELS以外に波長分散X線分光器(WDX)が付属している。EDSによる元素分析や試料マニピュレーション機能がある。FB-2100(FIB)イオン銃に搭載されたGaをイオン化し、サンプルへ集束されたイオンビームとして照射し加工。試料面上にセットされた遮蔽板にイオンビームを垂直に照射し、イオン照射を受けエッチングされる領域と、社団版で遮断される領域の境界に沿って断面を形成させる試料作製装置です。操作パネルにて試料加工状態を観察できます。FIB用サンプル加工等、各種装置を取りそろえています。