sの加速:エッジビーズを除去するためのスナップスピン。"ペトリ皿に、慎重にウエハを下に置き、20分間リラックスしましょう。112°C、22分、450°C/時間ランピング速度。ウェハを取り外し、周囲の再水和のためのペトリ皿に室温で一晩休ませて。"ガラス板の印刷面への流れラウンド透明マスク(ウエハに最も近い)とUVマスクアライナのマスク位置決め装置にロードします(6サイクルでUVの930ミリジュールにウェハを公開します2のランプ強度で25秒のメートル>例えば、6サイクル、30秒)は、露光の間の時間を待ちます。"ガラス皿で3開発を3-5分間、またはバスが紫色に変わり、機能が出てくるまで。ウェハを取り外し、DI水でよくすすいでください。プロフィル(10.5ミリグラムの針圧)を使用して、リフロー前の高さを評価します。注:次のプロファイリングの前に所望の層上の特徴チャネルに慎重に力スタイラスを配置、製造業者の指示に従ってプロフィルを操作します。sで、政権ダウンアップ。°C、15時間、10°C/時間のランピング速度。RTへのウエハを冷まします。PROFIを使用して、リフロー後の高さを評価しますlometer(10.5ミリグラムの針圧)。55ミクロン±2μmの高さは、このデバイスの幾何学的形状のために期待されるべきです。3.タンデムの変数高機能の製作ビーズシンセサイザー設計の流れ低、フロー高とヘリンボーンミキサーOHPフィルムと開発ウェハと高さが可変の製作に進みます。設計するためのプロトコルを調整するには、±5%の許容差を考慮して、露光エネルギー、スピン速度とベーク時間パラメータを決定するために、製造データシート25を使用します。2050ネガ型フォトレジストを用いて、55μmの背の高いフロー低層を製作します。2または圧縮空気でほこりを吹き飛ばすために、真空をオンにします。2050ネガ型フォトレジスト1〜2mlのを適用します。00回転、10秒、133回転/秒の加速。キャスト:3,000rpmで、40秒、266回転/秒で加速。先進弁の機能の上にフォトレジストをスピン。"ペトリ皿に紡糸したウエハを置き、平らな表面上または任意のストリーキングパターンがフェードインするまで20分間リラックスしましょう。65°Cは:2分、95°C:8分、65°C:2分を次のように65°C、95°Cに設定された2つのホットプレート上に配置することにより、ウェハおよびソフトベークを削除します。ウエハは室温まで冷却します。テープダウン石英5「ガラス板の印刷面への流れの低透過マスク(ウエハに最も近い)とは、UVマスクアライナーのマスク位置決め装置にロードします。UVマスクアライナチャックにウェハを置き、顕微鏡の接眼レンズやカメラを使用して、慎重にラウンドバルブ層の機能をフローに新しいフロー低位レイヤ機能を合わせます。チルト軸を整列させることから始めます。次に、クロスヘア機能ベットを揃えます予期する層。最後に、バルブ機能が流れローが該当する場合に備えて交差していることを確認します。2で28秒)を公開します。65°C:2分、95°C:9分、65°C:2分65°Cに設定された2つのホットプレートし、95°C以下のように切り替えることにより、ウエハと露光後ベークを削除します。開発することなく、ウエハを室温まで冷却し、フロー高層の製造に進むことができます。この流れハイ層は、以前に未露光の場所に85μmの機能を得るために、未現像の55ミクロンのフォトレジスト層にフォトレジストの30ミクロンを追加します。rpmで、40秒、266回転/秒で加速。2で32秒)を公開します。develoなしpingが、ウエハを室温まで冷却し、カオスミキサーヘリンボーン層の製造に進むことができます。図3を参照)、35μmのヘリンボーン溝を含みます。2025年とそのヘリングボーン溝を確保し、次の修正を加えたヘリンボーンレイヤーマスクは、フローハイチャネルの輪郭内に完全にある使用して3.10から3.3を繰り返します。65°C:2分、95°C:7分、65°C:2分以下のソフトベークプログラムを使用します。2で24秒)を公開します。"ガラス皿中のSU-8現像液を25mlの攪拌槽にウエハを浸漬することにより発症する。そのfeaturをチェックエスは、ステレオスコープを使用して明確に定義された機能の境界を有します。165°C、2時間30分、120°C/時間のランプ速度。プロフィル(10.5ミリグラムの針圧)を使用して、すべての層に特徴の高さを評価します。"シリコンウェハ上に5μmの接着層を製造します。2025ネガ型フォトレジストを用いて、25μmの制御層を作製。2または圧縮空気でほこりを吹き飛ばすために、真空をオンにします。rpmで、40秒、266回転/秒で加速。切り替えることにより、ウエハおよびソフトベークを除去2ホットプレートは65°Cに設定し、95°C以下の通り:65°C:2分、95°C:5分、65°C:2分。ウエハは室温まで冷却します。5「ガラス板に制御透明マスクの位置を合わせ、UVマスクアライナにロードします。2のランプ強度で25秒)を公開します。65°C:2分、95°C:6分、65°C:2分65°Cに設定された2つのホットプレートし、95°C以下のように切り替えることにより、ウエハと露光後ベークを削除します。1分間6「ガラス皿にSU-8開発の25ミリリットルの攪拌浴にウェハを浸漬することによって、または機能が出現するまで開発しています。ステレオスコープを使用して機能を確認してください。°C、2時間30分、120°C/時間のランピング速度。5.シランウェーハ処理FF水または水溶性試薬の自由ヒュームフード内部の鐘真空デシケーター内のウエハラックに完成したウェーハを配置します。-perfluorooctyl)シラン(PFOTS)を適用するためにスポイトを使用しています。デシケーターの蓋を閉めて1分間真空を適用します。1分後、再加圧またはベルジャーを排出することなく、真空をオフにします。混合物は、エアロゾル化しPFOTSコートウェーハ表面ながら10分間座ってみましょう。ベルジャーのふたを開け、ピンセットを用いてウェハを削除します。PDMSのレプリカ成形用ペトリ皿に置きます。適切な有害廃棄物中のシランコートしたスライドを処分。注:フッ素化シランで被覆されたウエハは、再処理せずに倍の数百〜数千を使用することができます。PDMSの犠牲層は、硬化し、ウエハ上にキャストし、電子メールを削除するために第1のシラン処理後に廃棄することができますウェーハ表面からエクセスシラン基。既存のオープン・アクセス・プロトコル16に係るガラスの「押し上げる」形状の多層マイクロ流体デバイスを製造します。注:詳細なプロトコールは、さらに、ウェブサイト27上で見つけることができます。目視検査では、すべてのバルブはラインと(両方の流れや管理層上の)すべての入口を制御するために適切に配置されている先に進む前に、完全に打ち抜かれていることを確認します。シリンジポンプ、流体コントローラ、またはリザーバー28とオープンソースの電磁弁の配列)。チューブに金属ピンを接続し、制御線の入口でデバイスポートに接続します。フローCONTを設定することにより、装置制御ラインを加圧します各ラインのための25のpsiへの選択肢のROLシステム。顕微鏡下で検査することにより、バルブを閉じて再オープンしていることを確認してください。注:選択した流量制御システムについては、製造元の指示に従ってください。psiの圧縮空気(加圧し)、大気圧(減圧)を切り替える電磁弁を使用して、各ラインに圧力を加えます。このシステムの詳細については、議論に記載されています。試薬とオイルロード用のカスタムマイクロ流体の圧力容器を準備します。プッシュピンを使用して、極低温バイアル管の上部に二つの穴を開け、1穴にキャピラリPEEKチューブを挿入し、第二の穴にチューブに接続された金属ピンを挿入します。エポキシ樹脂と所定の位置にチューブを密封します。1時間乾燥してみましょう。mgのサスペンドビーズをハイドロゲル液滴を重合するために使用される溶液。第二のマイクロ遠心チューブにおいて、ヒドロゲル液滴の溶液を作るために132μlの脱イオン水、172μLPEGジアクリレート、12μlのLAP溶液、85μLHEPES緩衝液を加えます。完成した極低温チューブ容器にヒドロゲル液滴ソリューションを転送します。注:そのようなナノ磁性粒子または生体分子のような他の用途のための添加剤は、HEPESコンポーネント内に含まれることができます。制御可能な圧力源に極低温チューブ容器のチューブを接続し、デバイスの試薬入口にPEEKチューブを接続します。スパン80)と軽鉱物油の10ミリリットルを準備し、油滴エマルジョンのための0.05%EM90。第二の極低温のチューブ容器に、0.22μmのシリンジフィルターと負荷1ミリリットルを使用してフィルター。液滴の収集のための装置の出口でPEEKチューブを挿入します。psiの操作圧力)を加圧することにより、デバイスからのES。すべてのバルブをオンにします。1分後または気泡がPDMSデバイスを透過するまで、流体経路内の各バルブをオフにしてください。ヘリンボーンのミキサーバブル解除するために、バルブ入口1、ミックス1アウト、およびミックス廃棄物の電源をオンにします。すべての気泡がなくなるまで続いインレット1、ミックス1アウト、およびミックス廃棄物を減圧。PSIに設定した油の圧力を減圧。9プサイにPEG混合物の圧力を設定し、圧抜上流バルブ(インレット1、1を削除)し、所望のサイズの液滴を生成するために、必要に応じて調整。FPS以上でカメラを使用して顕微鏡検査により決定することができます。重合ビーズが集め見て、液滴がビーズに硬化していることを確認するために、ビーズふるいバルブを加圧します。完全な重合を達成するために必要に応じてLLGを調整します。ビーズふるいバルブを減圧および出口PEEKチューブを介してチューブにビーズを収集します。