大容量でもコンパクト500、1000L/minタイプでは、業界トップクラスの小型化を実現しました。設備の小型化、軽量化に貢献します。50msec以下シリコンマイクロ加工技術を応用した白金センサチップの採用で、高速応答を実現。タクトタイムの短縮に貢献します。精度±3%F.S.以下を実現し、より正確な流量計測が可能になりました。整流機構により、上流側・下流側ともに直管部が不要です。ツイン表示/2色表示機能ツイン画面とサブ画面により、操作性を向上させました。2色表示で異常が一目でわかります。