油成分を一切使用していないイオンポンプは、クリーンな超高真空(UHV)、極高真空(XHV)の実現と維持のために最適なポンプです。TiTanTMイオンポンプシリーズは、お客様の用途に合わせ、ポンプデザイン、排気速度、エレメントタイプを豊富にそろえています。超高真空(10-8Pa以下)が得られるイオンポンプのラインナップを提供します。用途に応じて最適なポンプを小型から大型まで約20種から選択できます。タッチパネルによる操作性の向上、および、各種リモートコントロールが可能です。大気解放および不活性ガスを使用する頻度が多い装置に対応し、Ar不安定性が起きにくい長期間安定した動作を行う希ガス対応DI型イオンポンプをご用意しています。スイッチングレギュレーターを使用しない高電圧トランスを採用していますので、ノイズの発生が低減され、微弱電流を測定しなくてはならない表面分析装置、STM、AFM装置に最適との評価をいただいております。安全性を考慮したインターロック機能を備えた高電圧ケーブルは放射線環境下でも使用できる耐放射線仕様です。シリーズアップデートアルゴンガスクラスターイオン銃(GCIB)アップデートその他システム各種サービスクラブ・ファイへ会員登録後、ソフトウェアアップデートファイルやカタログなどのダウンロードができます。ログイン新規会員登録お問い合わせ資料請求やお見積もり、修理・メンテナンスなどについても、お気軽にお問い合わせください。ELECTRONICS。