C-SAM型番AW300AWシリーズは、ウェーハ用途のために設計された完全自動化されたC-SAMシステムである。3D)の評価のために最大感度と高スループットを実現した。AWシリーズは、2つのウェーハ間のボンドおよび直径が5ミクロン未満の特徴、および200オングストロームという薄さのウェーハ間の剥離を検出することができる。2つ以上の走査ヘッド、ステージングステーションおよび乾燥ステーションにより、AWは、前に走査されたウェーハを乾燥させながら、2つ目のウェーハを効率よくに走査できるように設計されています。フリーFAX:0120-537-554。