13と重なることなく形成することが可能となる。12の終端部がハ-カム形状に形成されている。12と接続されている。しており、これにより、複数の六角形が連続して配置するハ-カム形状となっている。形が縦にも複数行並んでいてもよい。他の六角形と共有して配置して、ることを、う。13に集中することを抑制することができる。合を回避することができる。これにより、リーク電流の発生を抑制することができる。いて酸ィ匕起因の応力が発生するのを抑制することができる。12の内部のゲート電極に及ぼす応力の量も低減することができる。