励起条件の自動制御(スポットサイズやNDフィルターによる励起光の減衰)のみならず、冷却CCD型分光とフォトダイオード法の両方を用いた超高感度検出を搭載した機能により、これまでにはない広範囲の強度にわたって微弱な不純物発光を測ることができます。様の研究者によると、「RD8により、5桁以上の励起強度範囲における発光を高感度に取得でき、かつウェーハのマッピング・励起強度可変を完全自動で行えるのでとても便利だ」そうです。1506101号「キャリア寿命の測定方法」が韓国特許庁で成立しました。GS4-DUV2010年のエキシマ励起PL測定機の試作からワイ・システムズは深紫外線用材料の検査技術を開発し続けています。その結果今、最先端の深紫外線発光ダイオード(DUV-LED)研究や生産向けにYWafer-GS4-DUVを紹介します。ワイ・システムズに発行されました。YGM製品に関わる中心的なその場観察技術です。Reserved.トップに戻る。