株式会社プレテック急速に進化するテクノロジー。半導体ウェハー・デバイス・フォトマスクや液晶の分野では、産業・社会・暮らしを根底で支える技術インフラストラクチャーとして、ミクロンメーターからナノメーターへとパーティクル対策は想像をはるかに超えたスピードで進化しています。スピンソニッククリーナーウェハー横置き、枚葉式ファインジェット方式の採用で高い洗浄能力を実現。カセットレス洗浄装置ロボット搬送がスムーズでチッピングが生じない、大幅なランニングコストの低減が可能。ディスク洗浄装置メモリーディスク、液晶ガラスの洗浄に大きな効果を発揮します。精密洗浄装置あらゆる精密部品・製品の洗浄工程で幅広く導入されている信頼性の高いシステムです。ファインシリーズ洗浄ユニットサブミクロンのパーティクルを800kHz~3.0mHz高周波でダメージレス洗浄。ウルトラソニック洗浄ユニット超音波の液共振により発生するキャビテーションでパーティクルを除去します。