Gasesイオン注入装置には、主に下記のガスをご用意いたします。implantation:下記ガス以外にも、特殊な材料、流体、固体も取り扱い致します。同じサイズ(3X、4X)では容器外寸・高さ・装置接続部面間は同一寸法です。connections.上記以外のガスはお問い合わせ下さい。0.35L、1Lサイズの容器は安全確保の目的で右下写真図のような専用ケース入りで供給いたします。ものが多く、ガスの特性や緊急時の対応を十分にマスターしておくことが必要です。『製品安全データシート』を参考にして下さい。空気マスク等の呼吸保護具をご用意下さい。漏洩検知のために必要な検知器を必ずご用意下さい。イオン注入装置に使用されている特殊ガスはきわめて毒性の強いものが多く、そのための排ガス処理装置も必要です。イオン注入装置は、通常高真空が要求されます。加圧テストの両方のリークテストが必要です。真空テストには、Heリークディテクターを使用し、加圧テストは、N2または不活性ガスを使用し、各接続部の気密をご確認下さい。圧力調整器の目盛りの減少を日々チェックし、リークの有無を検査し、さらに放置テストを行い圧力調整器のゲージの変動をチェックすることが必要です。