SuperLab製品概要お問い合わせX線源、CMFミラーと光学素子X線発生装置MicroMax007HFとCMFミラーの組み合わせにより、2次元的にコリメートされた入射X線が得られます。ゴニオメータ水平方向では平行X線、垂直方向では集光X線が得られます。各種モノクロメータが配置されており、測定の目的に応じてコンピュータ制御で自動的に光学系を切換えることができます。高分解能インプレーン測定ゴニオメータ垂直方向のX線は試料位置で集光します。そのため、試料を水平配置にしてもX線が試料表面に集中します。したがって、最高の分解能が得られる水平面内でインプレーン測定が可能です。高分解能インプレーン測定では、インプレーン方向の結晶性や格子定数を直接かつ高精度に評価することが可能です。従来まで薄膜の歪などを評価するために膨大な測定時間を要した逆格子マップ測定に対してハイスループットを実現します。高精度ゴニオメータSuperLabのゴニオメータはω、2θ、χ、φの4軸+カウンターχ軸で構成されています。ωと2θ軸は超高分解能エンコーダと閉ループサーボモータによって0.00002°の精度で制御されています。えシステムと高精度X線入射角度調整法により、高精度X線反射率測定を実現しました。高温炉を搭載したシステムでは、薄膜の体膨張率および線膨張率を評価することができます。インプレーン測定を小角散乱に適用し、Bonse-Hart型インプレーン小角散乱測定を実現しました。ナノスケール程度の微細加工によるパターンなどを評価することができます。高精度ゴニオメータによるインプレーン回折を含む高分解能測定は、完全結晶や結晶性の高いエピタキシャル薄膜の構造解析に絶大な威力を発揮します。高精度X線反射率測定や、Bonse-Hart型インプレーン小角散乱などの新しいアプリケーションも提案しています。SuperLab上記以外の製品をお問い合わせに追加する場合、下記より装置の種類をお選び下さい。タロウE-mailアドレス例)info@rigaku.co.jp(英数字半角)こちらのアドレスにお問い合わせ内容の確認メールを送らせていただきますので、お間違いのないようご入力願います。例)042-544-9795(数字半角)ご意見・ご要望(1000文字まで)その他ご意見・ご要望等がございましたら、こちらにお書き添えください。ご記入いただいた個人情報は、本件に関するお客様へのご連絡に利用させていただくことがあります。