される、ということのようで。実用にはなるんかなあ。しようということらしい。oxynitrides:前に飯村くんが輪講でかけてくれたやつかな。deposition。緩和される、という話。他の面が混ざっていないかどうかだ、という話。成績が良かったのは酸化膜上のやつ、というところがおもろいな。センサーに使えるかどうかを定量的に考察した話。膜自体の抵抗が変わる、という実験。足りなくなって〜ということでしょうが。