EnglishENGLISHPRODUCTS製品情報ウエハ搬送システム大気用搬送ロボット真空用搬送ロボットアライナロードポート真空プラットフォームEFEM/ソータストッカマスク・レチクル搬送システムライフサイエンス関連製品ソフトウェアソリューションシステムインテグレーションサービスパッケージサービス制御機器コントローラステッピングモータ&ドライバ450mmウエハ対応製品ウエハ搬送システム:大気用搬送ロボットRR756L15概要RR756は全軸にアブソリュートエンコーダ付きステッピングモータを搭載したスカラ型ロボットです。アーム軸と旋回軸の同期補間動作によって、走行軸なしで2ポートにアクセスできます。外部にロボット走行軸の追加が可能で、ティーチングポジションを含め、ロボット側からの同時制御が可能です。※2:リスト部及びフィンガ長さによって異なります。