SMX-ILH特許のサーマルシールドは、300°Cまでのホット基板のリアルタイムXRFデータを容易にし、パネルの滞留時間を短縮し、プロセススループットを向上させます。専用のZ軸高さ調整機能は、より大きなパネル、特に高温の場合に共通の平坦性の偏差とともに、弓とワープに対応することによって測定品質をさらに向上させます。reserved.当サイトの利用を継続することにより、プライバシーポリシーおよびCookieポリシーに同意したとみなされます.OkMac1-8.1。