雄側磁気ネジを備えた駆動軸を長尺なものとしても、雄側磁気ネジと雌側磁気ネジとが無接触で駆動することが可能な磁気ネジ搬送装置を提供すること。雌側磁気ネジを長くしたり雄側磁気ネジの径を大きしたりすることなく、従来の雄側磁気ネジ及び雌側磁気ネジを利用して、荷重の大きい物の搬送が可能な磁気ネジ搬送装置を提供すること。閉弁時の弁体と弁座の衝撃をやわらげて接触表面に生じる損傷を防止すること。本発明の開閉弁1は、入力ポート11と出力ポート12とを連通するように弁座6に微小流路の弁孔16が形成され、駆動手段3に係設された弁体6には微小流路の連通孔15,17が設けられている。低真空から高真空までの広いレンジに渡って、真空圧力を精度良く保持できると共に、緊急遮断機能を有し、コンパクトかつ安価な真空圧力制御システムを提供すること。大気の状態に影響されることなく、立ち上げや温度の設定変更を短時間で行うことができる接着剤注出機を提供すること。シリンダのピストンロッドへの環境中の粉塵等の付着を防止する。基台2の右側には、前後方向に延びるシリンダブロック4が上方に突出するように形成されている。シリンダブロック4の後部にはシリンダ16が構成されている。シリンダブロック4の前部の内部には収容孔6が形成され、その左側面4cには前後方向に延びる開口部7が形成されている。基台2の後部両側には、前後方向に延びるシリンダブロック4,5がワークテーブル24の上方に突出するように一体的に形成されている。シリンダブロック4の内部にはシリンダ16が形成されている。そのピストンロッド11は、シリンダ16の前方に延びる溝7の内部に収容されている。PTPシートとして打ち抜かれる前の包装フィルムの該当する箇所からチップ片を打ち抜けるとともに、その打ち抜いたチップ片の処理を確実かつ簡単に行えるPTPシートのチップ片打ち抜き装置を提供する。搬送部材上に乗せられた治具の停止、位置決め及び転送動作を一つの駆動源により動作させることによって装置の簡素化とコストダウンを図れる転送及び位置決め機構を提供する。18には第1のストッププレート19が形成されている。第1のストッププレート19の左右両側には貫通孔20が透設されている。貫通孔20にはスライド棒21が配設されている。熱伝達のよいボディからなる真空用開閉弁を提供すること。物流コンベアの分岐のために使用するソレノイドにおいて、分岐用ローラ等を少ない電流で迅速に移動可能なソレノイドの制御方法を提供すること。パーティクルの発生の少ない搬送装置を提供すること。搬送治具をコンベアから切り離して独立に移動して被包装物の品種の変更に迅速に対応し、また包装工程の幾つかの工程では搬送治具を互いに接した状態で最小のピッチで移動させてカバーフィルムの節約を可能にする。)【課題】シリンダの側部からストローク調整を行なうことができるようにしてシリンダの端面を壁面に当接させても使用することができ、設置上の自由度が大きくなるようにする。【解決手段】シリンダチューブ2の両端に固定されるヘッドカバー3及びロッドカバー4には、それぞれシリンダチューブ2の軸線方向に移動可能な調節体19が収容されている。部品点数が少なく耐久性の高いダイアフラムを有し、ダイアフラムを付勢するための圧縮コイルバネ等のバネ部材をなくし、また、ダイアフラムの組付け間違いが生じないパイロット式ダイアフラム弁を提供すること。スイッチ全体を覆うカバーには蓋20が設けられ、蓋20には同蓋20を略コ字状に切り欠くことにより片持梁状の操作片39が形成される。操作片39及び操作片39の周囲の隙間40は、蓋20の上面に設けられたシート42によって覆われ、シート42の縁部は接着剤によって蓋20に固着される。帯状に連続する容器フィルムに、特にその容器フィルムの幅方向に長く伸びた容器を成形する際に発生する撓みを除去して所望の形状の容器を成形する装置を提供する。大型なものではなくしかも耐久性に優れたシリンダのショックアブソーバを提供すること。ショックアブソーバ15,16を構成するピストン5は、その当接により所定方向へ移動体としての移動スリーブ19を移動させる。ピストン5の衝撃は、移動スリーブ19が作動流体である作動オイルOLを圧送する際に生じる抗力をもって緩衝される。異なる容量の負荷に対しても、制御知識又は多大な作業時間を要することなく高速かつ高精度な圧力制御を行うことができるようにする。帰還線路と並列に補償部44が設けられている。ゴムシール材が弁座部に固着しにくく、しかもゴムシール材に磨耗やクラックが起こりにくい電磁弁を提供すること。この電磁弁11は、ケーシング13a、弁座部16,17、ゴムシール材15及びプランジャ6等を有する。弁座部16,17はケーシング13aの内壁面に形成されている。ゴムシール材15は、プランジャ6の駆動により弁座部16,17に接離する。異なる容量の負荷に対しても、圧力比例制御弁を用いた高精度で高速な圧力制御を容易に行う。圧力比例制御弁4の制御による設定時間が長いときはその出力側に電磁弁5を接続する。マーク合わせ装置を、カバーフィルムにのみ図柄等の表示マークが付されているフィルムを使用して成形充填包装を行う成形充填包装機及び容器フィルム及びカバーフィルムの両方に表示マークが付されているフィルムを使用して成形充填包装を行う成形充填包装機のどちらにも適用可能にする。負荷に供給する圧力を外部圧力の近傍の圧力に制御するときにも迅速かつ確実に制御する。圧力比例制御弁1の排気用電磁弁22の排気ポートは、負圧発生部2に連通されている。負圧発生部2は、電磁弁27が作動すると供給圧力PIを導入して排気ポートが連通される負圧室に負圧を発生する。検査対象物の側面に凹凸が存在する場合でも、その凹凸部の表面を正確に検査可能な外観検査装置を提供すること。ラベル3をテープ状の台紙2から確実に剥離することができる方法及び装置を提供する。鉄系材料に優れた耐摩耗性および耐食性を付与するための耐食性窒化膜を提供すること。鉄系材料に4Torr程度の窒素−水素混合ガス中で窒化処理を4時間施し、5μm以上500μm以下の膜厚で鉄窒化物を含有し、硬度が400HV以上1200HV以下である耐食性窒化膜を形成する。製作が容易で、更に、フロートの吸着力の高い入口弁閉鎖機構を有する油量調節器を提供する。作業者による例えば電子部品収納ケースのセットミスの様な誤った作業を防止すること。ステップ110にて、バーコードリーダ3にて読み取った電子部品収納ケースの第1のバーコードの内容(データA)を、液晶表示装置7の上段に表示する。目的とする電子部品等の収納物を正確かつ迅速に取り出すことのできる収納装置を提供することを目的とする。リールストッカー10は、複数の電子部品が収納されたテープリールTを複数収納・保管することのできる収納棚ケース12と、収納棚ケース12に設けられた各種装置をコントロールするセンターコントローラー14とを備えている。)【目的】構造が簡単であるとともに誤動作の虞れを少なくし、かつ圧縮エアを無駄に排出することのないドレン排出装置を提供する。【構成】ドレン容器8の下部に接続されたドレン配管9には、上流側より順次ストレーナ10,二方弁11,流量センサ12が接続されている。強力かつ高強度の螺旋着磁磁石を安価に実現し、設計上の自由度を増して広範な応用を可能にした磁気ネジ及びその製造方法を提供すること。ダイヤフラムの構造を改良することにより、自励振動を防止しながら構成部品点数及び組み立て工数を少なくしてコストダウンを図れるようにする。稼動時に発生する駆動音を防止した液体燃料供給装置を提供する。油圧システムの占める容積を小さくし、作成コストを低下させ、また、圧力流体の漏れをなす。吸着面内の区分された領域を選択して使用することができる真空チャックの吸着板及び真空チャックを提供する。円板状の形成された吸着板6の吸着面6aと吸引面6b間には複数の円筒状の非通気層8a〜8cが吸着板6の軸線と同一軸線上に配置されている。真空チャックの吸着板にワークを持ち上げるピンを挿通させるための孔を設けることなく、かつ、ワークの上面に触れることなく、ワークを吸着板上から移動させることができる真空チャック装置からのワークの取り外し方法を提供する。ブリスタ包装における包装フィルムの材料を特定しまたブリスタ包装にレーザマーキング技術を応用することによって、マーキング工程の簡素化及びコストダウンを図る。ブリスタ包装シートのマーキング方法は、容器フィルムFに包装される品物の品名、ロット番号等のマークをレーザ光線で刻印する。多孔質体で形成され、切削加工により吸着面が形成される吸着板の吸着面の平坦度を向上することができる真空チャックの吸着板を提供することにある。平均粒子径が100μmである三フッ化樹脂粒子材から製造された多孔質体である焼結三フッ化樹脂にて吸着板1を形成し、この吸着板1の外周部にシリコンゴム5を吸引により注入して非通気層2を形成した。粒状体を袋詰めして密封する作業と連動させて自動的に行える真空包装装置の提供。)【目的】高温湿り空気から分離した水を手間をかけることなく処理することができる冷凍式除湿装置を提供する。【構成】冷媒ガスはコンプレッサ5により圧縮されて高温の圧縮冷媒ガスとなりコンデンサ9に送り出される。高温の圧縮冷媒ガスはコンデンサ9により冷却されて液冷媒となり冷凍通路14に送り出される。冷凍通路14により高温湿り空気が冷却されて除湿される。多孔質体をその切削面にバリをつくることなく切削して表面を形成することができる多孔質体における表面の形成方法を提供する。液体の温度の影響を受けないで、温度の異なるすべての液体に対して、一定の同じ出力電圧が検出され、それにより、流れの有無を安定して検出可能な熱式流量センサを提供すること。線状部品の供給装置において、線状部品を水平状態で自由落下させてその途中で姿勢を変更させるのでなく鉛直状態で落下させることによって落下速度を高速化して供給速度の高速化を図る。取り付けによりシリンダチューブ外部に大きなスペースを占めることがなく、又、シリンダの中間位置で停止するピストンをその停止位置と停止位置から離れた停止範囲で検出するとともに、その停止範囲に応じた検出精度で検出することができるシリンダにおけるピストン位置検出スイッチ及びピストン位置検出装置を提供する。プランジャ又あるいはコアの表面に形成する表面硬化処理層の硬度及び層の厚さを最適化することにより、耐久性を向上させることができる電磁ソレノイドを提供する。電磁ソレノイドの内部にはコア4とプランジャ6が同一直線上に配置され、その外側には励磁コイル2が設けられている。励磁コイル2通電されるとと、プランジャ6がコア4に吸引される。成膜又は表面改質層によりプランジャあるいはコアの対向面の外周部を内周部よりも高い形状とすることにより、連続動作時に唸り音が発生せず、又、離脱時の遅れのない電磁ソレノイドを提供する。電磁ソレノイドのプランジャ6の上面6aには、外周部が内周部よりも1〜5μm高くなるように窒化処理層6cが形成されている。蛇口から排水されずに浄水器内の残った水が、そのまま器内に残ることなく排水口から排水される浄水器水抜き弁を提供する。フィルムの自動補給装置において、多数の予備のフィルムロールを備えていて各フィルムロールが使い尽くされたとき次のフィルムロールからフィルムを自動的に補給できるようにすることによってフィルムの補給装填作業間のインターバルを長くする。フィルムの自動供給装置において、複数の予備のフィルムロールを蓄えることができると共に、一つのフィルムロールのフィルムが使い尽くされたとき隣接するフィルムロールのフィルムを自動的に接続して自動的に供給できるようにする。ばね定数を十分に小さくすることができる空気ばね装置を提供する。円筒状のアウタケース1の前端はロッドピース2にて、後端はエンドピース3にて封止されている。アウタケース1の内部において、ロッドピース2及びエンドピース3間には円筒状のシリンダチューブ13が設けられている。再生器で発生した蒸気の吸収液への混入を防止し、また、フロートスイッチの取付を簡単にしたフロートバルブを提供すること。流体の給排を行うための給排ポートに取り付けたカートリッジ式ポート継手を固定することなく配管用継手を螺合させることができるとともに、螺合時に給排ポートの特定の側に力が働くことを防止することができる給排ポートのカートリッジ式ポート継手の固定構造を提供する。必要なメモリ容量を減少するとともに、高さの値を予め格納したメモリを備えることにより計測時間を短縮した形状計測装置を提供すること。ピストンロッド7を多段階に停止させることができる流体圧シリンダを提供する。磁気ネジを利用して提供すること。重量が小さく、一体構造かつコンパクトで持ち易いため取付作業性が良く、また騒音の小さいパレット落下防止装置を提供すること。レーザ光の偏向角度と点滅間隔とを予めキャリブレートしてこれらを考慮した補正を行ない測定精度を向上した形状計測装置を提供すること。)【目的】スプールの湾曲を防止し、流体流路の切換動作を確実に行うことができる手動切換弁を提供する。【構成】スプール15の操作レバー30の先端部に対応する位置に前記スプール15の軸線と直交する方向に延びる連結溝38が形成される。操作レバー30のスプール15側の端部には互いの間隔が連結溝38の長さより大きい一対の支持片39が突出形成される。簡単な構成による低価格なものであって、衝撃による衝撃音を抑制し、加えて安定した弁の開閉を行うことが可能な電磁弁を提供する。集積移送に携わる無端軌条が掛けられる位置可変の対のプーリを本体に関して移動する装置の構造を改良して、集積移送装置の小型化及び高速運転を可能にする。太陽光による外乱があっても誤検査の発生がなく安定した蛍光ランプ検査装置を提供すること。通電装置にて安定した通電効果を長期に渡って得る。図2は、通電装置10の要部を示している。図示する通り、回転体電極20は電極ホルダ18に対して回転軸18aにより回転可能に固定されている。回転軸18aは回転体電極20に設けられたベアリング20aにより回転可能に固定されている。幅が狭く、また周囲温度が変化しても十分な温度補償を行って、永久磁石の位置を正確に測定可能な磁気リニアスケールを容易かつ低コストで提供すること。励磁電流を最適な状態に制御できる電解コンデンサのエージング処理回路を提供すること。電解コンデンサのエージング処理回路1は、エージング用治具3の接続端子に複数個の電解コンデンサCx1,Cx2,...,Cxnを接続し、これらにエージング電源5から電圧を印加しエージング処理を行うものである。イオン水供給装置において、電解槽の流出側に接続される対の送水ラインに単一の四方弁を設けることによって構造のコンパクト化及び簡素化を達成する。イオン水供給装置は内部が隔膜21によって二つの電解槽部分22、23に分けられかつそれぞれの部分内に電極が配置されていて流入される水をアルカリ性イオン水と酸性イオン水とに分離する電解槽2を有している。)【目的】シングルソレノイドタイプのパイロット式電磁弁において主弁切換部を小型化でき、しかも、ダブルソレノイドタイプの電磁弁と構成部品の共通化を図る。【構成】第1弁23により圧力供給通路15とスプール10の一方の室R1とを連通させた場合には、第2弁29はスプール10の他方の室R2とパイロット圧排気通路7とを連通させる。プランジャの保持力を損なうことなくプランジャ及びコアの対向面の耐磨耗性を向上させることのできる電磁ソレノイドを提供する。電磁ソレノイドのコア4とプランジャ6とが互いに当接する対向面4a,6aの外周部にのみ窒化処理がされている。この窒化処理はグロー放電の正規グロー領域を使用したプラズマ処理により行われる。)【目的】速やかにピストンを移動開始させることができる差圧をつくれるエアシリンダ駆動制御回路及び流量制御弁を提供する。【構成】ピストンロッド3を収縮させるには、方向切換弁5をb位置に切換え、エア供給源Pと第2給排通路4bを連通させる。)【目的】飛び出し動作を起こすことなく速やかにピストンを移動開始させることができるエアシリンダ駆動制御回路及び流量制御弁を提供する。【構成】エアシリンダ1が伸長されるとき、エア供給の初期状態においては、エアは減圧弁11を通ってヘッド側シリンダ室1aに供給される。)【目的】コンパクトで残留振動を防止することのできる搬送位置決め装置を提供する。【構成】ハウジング1にはスプライン軸25がタレット軸12によって水平回動可能に支持されるとともに、スプライン軸25とスプラインナット17,18とに形成された平行な軌道面23、24及び26間に配設された複数の針状コロ27よって上下方向に移動可能に支持されている。)【目的】形状を大きくすることなくピストンの摺動抵抗を低減させることができ、耐垂直荷重性に優れたロッドレスシリンダを提供する。【構成】各ピストン7及びピストンヨーク8にかかる垂直荷重の一部は円筒コロにより支持されるため、各ピストン7自体にかかる垂直荷重は低減される。使用可能な周波数領域を改善した交流同期モータを提供する。常温常圧では液体である材料を精密に気化制御して気相反応槽等へ供給できる気化器および気化装置を提供すること。気化装置は定量ポンプ3と、チェック弁2と、気化器1とにより構成される。定量ポンプ3は、ベローズ23を介して設置されているロッド22の上下動により、規定量のTEOSをチェック弁2に送出する。(A)のように、折り畳まれた段ボール箱1内の内袋2の開口部2aからエアホース11をその内部に挿入する。続いて、(B)のように、開口部2aの両外面に一対の挟圧具12を逃し溝14にエアホース11を嵌めつつ押し付けて開口部2aを閉じ、エアを注入する。)【目的】カバー内に溜まった液体を排出するための排出管をフィルタ装置の外部に設ける必要のないフィルタ装置を提供する。【構成】吸気ポート7から流入したエアは、フィルタエレメント13にて除塵されるとともに水分と分離され、分離された水分は液体貯溜室9aに貯溜される。一対のリードを案内位置決めする一対の部材とは別に押さえ専用の押さえレバーを設けることによって、リード線を確実に案内保持できるステム機ヘッドを提供する。ステムの一対のリード線を所望の間隔で平行に保持するステム機ヘッド1は、固定の案内部材2と、固定の案内部材に関して接近し或いは離れることが可能な可動の案内部材4とを備えている。動作不良、摩耗によるシール不良及び水銀の割れを防止して、常に適量の水銀を管球内に供給する。濃縮液と冷水又は暖水とを均一に混合して冷飲料または暖飲料として供給可能な、小形で簡単な構造の飲食物供給装置を提供する。柔軟な動きによる、半導体製造装置における搬送機構に適した板状部材把持装置を提供する。剛性のあるフレーム2に相互に連通する3個以上の直進形柔軟アクチュエータ3を設け、その先端に把持部16を形成してなる。)【目的】ある程度の空気量で希望の燃料が噴霧されるようにし、また、霧化させた燃料の粒径を細かくして噴霧状態を安定させるとともに、噴霧角度を拡大して点火部付近で霧化された燃料が拡散されるようにする。ガラス管内に残った不純ガスを全長にわたって完全にかつ効率良く排出する。(A)のように、各ヘッド11の気体室12内に嵌入されたガラス管1の両端部内に、マウント2が気体の流通を妨げない位置で嵌入される。この状態で、ヒータ20がガラス管1の軟化点を超えない温度で発熱されるとともに、一方の気体室12にアルゴンが供給され、他方では真空吸引される。2以上の質量流量計ユニットを備えるガス供給装置で使用するエアオペレートバルブに、整然と制御用のエアチューブを接続することが可能なエアチューブガイドを有するガス供給装置を提供すること。中間停止時の位置精度が高い位置決めアクチュエータを提供する。)【目的】シリンダチューブの曲線部分において、ピストンを構成する駆動体の磁石の動きに対して、移動子を構成する従動体の磁石を追従させてピストンと移動子を滑らかに移動させ、従動体に備えた磁石と駆動体に備えた磁石との間隔を常に一定に保つことのできるロッドレスシリンダを提供する。【構成】ピストン4を構成する各駆動体6は個々独立に変位するように配設されている。エアコンのルーバー等の揺動運動に使用される低速出力軸が揺動運動を行う減速機構付小型モータを提供すること。ユニット9のユニット本体36には給排ポート39が設けられる。ユニット本体36の圧力空間には外部配線ケーブル53が配設されるとともに、Z軸可動部3と一体移動する移動体43が収容される。シュートからドラムの凹部にカプセルを安定して供給することができる錠剤包装機を提供すること。スクラップの反りや品種変更により発生するトラブルを排除して確実かつ簡単にスクラップの裁断及び回収ができる錠剤包装装置を提供すること。電気信号により直接制御するようにした吸い戻し弁を提供する。ステッピングモーター5にパルス信号が入力されるとその信号に応じて出力軸16が正逆方向に正確に回転する。出力軸16はステッピングモーター5に固定されたナット24に螺合しているから回転にともなって、前進後退する。揺動運動を発生する低速出力軸に過負荷がかかることによる中間伝達部材の破損を防止するとともに、揺動運動に影響が起こらないようにすること。複数の制御装置を同期運転させることが可能で、かつ安価な電動機の制御装置を提供すること。1億回以上の耐久性能を有する交流電磁弁を提供すること。フッ化物を含む測定溶液であってもイオン濃度の測定が可能であると共にイオン濃度測定の応答時間を飛躍的に短縮することを可能とするイオンセンサを提供すること。コストダウンおよび省スペースを実現した風呂循環回路等用の水道水供給装置を提供すること。