寸法/重量ユーティリティ概要チャンバーのクリーニング時に発生する臭気は、HCl、HF、Cl2等有毒なガスが多く、クリーニング時の労働環境を悪化させ、作業性にも支障をきたしています。これらのガスをTLV値以下にして、作業性を向上させます。原理チャンバー内壁に付着した固形分は、大気中の水分と反応して有害なHCl、HFを発生します。エッチングに使用した残存ガスも存在しています。チャンバー内に大気を導入して、固形分(ALCl3等)と水分を反応させ、発生したHCl、HF等、及び残存したガス(Cl2、BCl3、HBr等)を脱臭剤で反応および物理吸着で除害します。処理剤の交換はブロワー運転時間で管理します。注意:対象となるガスはエッチング装置用に限定されます。使用方法チャンバーと本装置をNW40にて接続し、本体に具備しているブロワーでチャンバー内のガスを吸引します。有毒なガスは脱臭剤により、反応および物理吸着で除害します。微細な塵はHEPAフィルターにより除去します。排気はクリーンルーム内に戻すか、排気ダクトに排出します。ガス以外のガスおよび液体の導入は、発熱の原因となりますのでご使用できません。規定の濃度以上のガス導入は、発熱の原因および能力の低下に起因しますので、ご注意下さい。吸着剤の交換300時間ご使用後は、吸着カラムを下記にご返却下さい。