ピエゾバルブを採用したデジタル制御回路搭載のオートプレッシャレギュレータです。オールメタル構造(接ガス部)、デッドボリュームフリーの構造を採用し、腐食性ガスや低蒸気圧ガス等の安定した圧力制御が行えます。外部信号による遠隔操作が可能で、総合的な性能評価を必要とするガスセンサーや耐圧評価システム等の総合的なガスの制御を必要とするシステムへの搭載に最適です。PE-D20コンパクトボディに使用頻度の高い機能を集約した制御ユニットです。前面パネルからの操作が行えます。PE-D10マスフローメータ専用のモニタユニットです。PEシリーズマスフローコントローラ・マスフローメータやオートプレッシャーレギュレータの駆動電源及びアナログ制御時の設定基準電圧:5VDCを供給するアクセサリです。DU-103K・DU-102E流量・圧力信号(0〜5VDC)をデジタル表示するユニットです。コネクターにより接続する専用の信号ケーブルです。Series他社製MFCから弊社製MFCへの変更時にご使用頂く場合の変換アダプタです。価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。カスタマーサポートセンターでは、お電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。アクセシビリティサイトマップ。