KeVのエネルギーを有する集束イオンビーム(一次イオンビーム)を試料表面に照射し、スパッタ現象に伴い、試料から放出される二次イオンを質量分析計にかけて、元素または化合物の定性・定量分析ができる装置です。スパッタしながら分析すれば、元素の深さ方向分布が取得でき、さらに、二次イオン像を観測すれば、面内分布が取得できます。6f本体で、右側が電気系と制御コンピュータです。センターに関するお問い合わせは、以下のメールアドレスにお気軽にお問い合わせください。