:日立ハイテクマニファクチャ&サービスこのウェブサイトでは、JavaScriptの機能を有効に設定していただくことで、最適なコンテンツをご覧いただけます。φ300mm半導体工場でウェーハを搬送する装置であるミニエンバイロメント(局所クリーン化)ウェーハ搬送装置の設計・製造を行っています。長年にわたる真空搬送の実績と数々のユニットを製造してきた経験により、新たな開発に積極的に取り組み、世界の半導体産業へ貢献しています。