seriesIR加熱タイプの枚葉式クリーンオーブン、CCBS-IRシリーズ。液晶(LCD)、有機EL(OLED)の各種焼成処理に。自己発塵の無いクリーンな構造と、精密な炉内雰囲気制御(特許取得済)により、高いクリーン性能を実現します。シビアなクリーン環境を求められるアレイ基板の処理にも対応可能です。加熱効率に優れた、遠赤外線(IR)加熱方式を採用しており、あらゆる膜厚に対し高効率な処理が可能です。配向膜やパッシベーション膜など厚い膜の処理に最適です。優れたIRパネルヒータを採用。第10世代などの大型基板に対しても、均一な加熱を行うことが出来ます。炉内に窒素ガスを導入し低酸素濃度での加熱処理が可能です。第10世代までの大型液晶(LCD)、有機EL(OLED)の加熱処理にIR方式を採用。IGZOやLTPS(低温ポリシリコン)500°C処理のデモ機もご用意しています。当社では、設備導入を検討のお客様のためにデモ装置を準備しております。※当社ご用意のデモ機は上記標準製品と仕様が異なる場合があります。パイロット生産用装置までの紹介です。ヒートエレメント省エネ・高効率・組立の容易さを実現するモルダサームヒータと半導体用カートリッジヒータの紹介です。