“近接場光”がリソの限界を超えるマスクの表面にまとわりつくように生じる光「近接場光」を使って回路パターンを形成する。そんな型破りな手法で,従来のリソグラフィ技術の限界を超えられる可能性が見えてきた。近接場光は,光が照射された物質の表面から数nm〜100nmの近傍に生じる電磁波である。マスクに光を当てると,そのエッジには数nm幅といった極めてシャープな光が生じる。「読者特価」でご購入の際、日経IDに未ログインの場合は途中で通常価格が表示されることがあります。ご購入画面をそのまま進んでいただき、「次へ(お客様情報の入力へ)」のボタン押下後に表示されるログイン画面で日経IDをご入力ください。特価適用IDであれば、表示が特価に変わります。