描画時間を約1/2に短縮300mmウエーハと200mmウエーハの両方に対応したメモリー・リペア装置(図1)。当初は200mmライン向けに導入し,将来は300mmラインへ転用するといった使い方が可能になり,装置コストを低減できる。300mmと200mmの両方に対応させるため,ウエーハ・ハンドラを新規に開発した。「読者特価」でご購入の際、日経IDに未ログインの場合は途中で通常価格が表示されることがあります。ご購入画面をそのまま進んでいただき、「次へ(お客様情報の入力へ)」のボタン押下後に表示されるログイン画面で日経IDをご入力ください。特価適用IDであれば、表示が特価に変わります。