substrate円形基板用キャピラリーコータ<概要>スリットノズルを使った塗布技術で丸いウェーハだけでなく、瓢箪状、長尺状など異形状に対する塗布も対応可能。スピンコータが苦手とする高粘度塗布は非常にきれいに塗布できます。<特徴>スリットノズルを使用し、円形基板表面に液をはみ出すことなく塗布が可能。※液にもよるが、5倍以上の使用効率が期待出来る。低粘度(1mPa・s)から高粘度(15,000mPa・s)まで幅広い粘度に対応可能。4インチ~12インチウェーハまで対応可能。