スループット,自動化の点で改善した(図1)。測定精度は,従来から30%高めることによって2nmを達成した。このために,測定対象の検出形状を従来の2次元から3次元に変え,さらに新しい雑音除去アルゴリズムを採用した。「読者特価」でご購入の際、日経IDに未ログインの場合は途中で通常価格が表示されることがあります。ご購入画面をそのまま進んでいただき、「次へ(お客様情報の入力へ)」のボタン押下後に表示されるログイン画面で日経IDをご入力ください。特価適用IDであれば、表示が特価に変わります。