优选第一层132很薄,厚度在约100埃至约600埃的数量级。所以第一层132是金属钛层。第二层134覆盖第一层132。134层中的TiN涂层。1-1/2至约5微米。24a的方法首先沉积第132和134层,其中132层的厚度为约100-600埃,134层的厚度为约1/4至约1微米。(Ti(CN))第三层136。从沉积靶104沉积钛。沉积腈化钛第三层136。134的步骤沉积TiN第四层138。1-1/2至约5微米。按照针对涂层24a的描述,首先沉积132和134层,其厚度分别为约100-600埃和约1/4至约1微米。((TiAl)N)第三层140。所有沉积源70a、70b、70c和70d使用钛沉积靶104。例如,为沉积图7C的涂层,沉积源70a和70c由钛沉积靶104制成,沉积源70b和70d由钛-铝沉积靶104制成。)和134层(沉积室中充入氮气)的过程中,操作沉积源70a和70c,在沉积140层(沉积室中充入氮气)的过程中,操作所有沉积源70a-70d。coating.图7A-7D示出了形成涂层24的较少的层数。以使涂层24生成多种性能。