気口への運動量が与えられる。油拡散ポンプに代わって多用されるようになり,いまや真空が関与する実験には欠かせないものになっている。そのほか名前のみ挙げると,スパッタイオンポンプ,ゲッターポンプ,ソープションポンプなどがあるが,ターボ分子ポンプを除いて,原理的にはすべて気体の固体表面への吸着を排気に利用している。章以下で説明されるが,巻末の真空関係の引用・参考文献にも記載されている。真空を達成する方法が確立されているといってよい。deposition)がある。面に付着固化させて薄膜を形成させるプロセスである。年には,蒸発源の平衡蒸気圧と気圧の関数として自由表面からの蒸発速度式を提示した。(製本:愛千製本所)本書のコピー,スキャン,デジタル化等の無断複製・転載は著作権法上での例外を除き禁じられております。化は,いかなる場合も認めておりません。