gas)はイオンと電子を含む気体で,プラズマと言い換えてもよいが,より正確なプラズマの定義は「正負の電荷が等量存在する全体的には中性とみなせる電離気体」である。粒子)が電離していなくても,ごく一部が電離していればプラズマである。Langmuir)による命名以ロナ降である。鋳型という意味があり,ラングミュアが,放電管(いわば鋳型)の形状に従って低圧下の放電が隅々まで及ぶ様子を観察して名付けたとされるが,プラズマに固有な振動現象に由来するという別の説もある。コで,プラズマの存在しない場合に比較して,プラズマ独特の有利な効果が現れなお,以下ではドライプロセスを真空,プラズマと関連付けて説明するが,プロセスの歴史的発展の経緯についても簡潔に触れることにする。現在のドライプロセスの隆盛がもたらされたのは,先人の発明・発見と創意工夫があったればこそといえるからである。このような気圧の低い状態は真空(vacuum)と呼ばれる。pump)が必須であるが,そのほか多くの重要な付属部品が挙げられる。装置の密閉性を確保する耐真空シールが,その一つである。高さの水銀が残り,管の上部に真空部が残った。Guericke)により作られ,かなりの真空度が達成された。年ごろまでこのタイプのポンプが広く用いられたが,適当なシール材がないため,高真空の達成は不可能であっロナた。管と管をつなぐ接合部分,例えばフランジ部分のシールの重要性は,誰でも気が付くことである。リングが用いられているのを目にすることが多い。Nieuwland)により合成ゴムのネオプレン(Neoprene)が発明され,それまで利用されていた「ろう(wax)」によるシールの必要がなくなった。装置内の水蒸気を除くために種々の工夫がなされ,例えば五酸化リンのような強力な脱水剤が利用された。銀ピストンポンプを作製したが,考案したのは同じ研究室のプリュッカー(J.Plucker)とされている。ー(J.Dewar)により考案された極低温の液化ガスを利用するデュワーびん(Dewarflask)が真空トラップとして利用された。年ごろからは電動機駆動が一般的となった。Langmuir)により排気速度が大きくなるように改良された。ポンプの材料は,水銀の使用に耐えるようガラスまたは鉄が用いられた。分子は空間に噴き出して広がっていく水銀蒸気中に拡散し,水銀蒸気とともに排気口に運ばれ除かれる。気など寒剤で冷却したトラップが常用された。水銀はポンプ容器の壁で凝縮すロナる。pump)が出現した。