cを囲むと共に、細長い電気経路つまり導体40などの導体と結合するが、これらの導体は図4にみられるように可撓性構造体32の左端に隣接して形成されたパッド41などの適合する接触パッドに向かって延びる。mm,約0.5mmの全幅(図3および図4の平面の寸法)および約0.04mmの全厚さ(図4の垂直寸法)である。aの幅は約6ミクロンであり、またポールチップの厚さ(図4参照)は約0.25ミクロンである。mg,好ましくはそれ以下である。less.【0035】装置10に含まれるその他の部材の説明に戻るならば、図1および図2において全体的に60で表されているのがサーボ制御されたアクチュエータ装置つまりアクチュエータ手段であるが、これはボイスコイル・モータ62と協同して稼働し、二つのヘッド/可撓体/導体ユニット(26、28)を支持してディスクの対向する記録表面上に弧をなして移動させ、それにより変換器をディスクの表面上のいずれかの選択された同心状リード/ライト・トラックに対して位置決めする。/導体ユニット26、28をそれぞれ担持する。dの内側でジャーナル支持されている。適合したジャーナル接続は、前述の軸受20に類似したジャーナル軸受64により行われる。dによりつり合わせられた質量平衡のロータリ設計であるが、このつり合わせ機構は説明されている実施態様では前述のボイスコイル・モータ62における「ロータ」を実際に形成するコイル巻線の形式を取る。bの記録可能な全域にわたる稼動位置に旋回できる。66は変換器が内側へ軸18から約9mmの距離に旋回すること、また外側へ同軸から約23mmの距離に旋回することを許容する。したがって当業者は、本発明の装置は従来のフライング・ヘッド装置により代表的に使用可能な最も内側の半径方向位置よりもスピン軸に近いディスク上の半径方向の内側のデータを(メディア・フォーム・ファクターとは無関係に)読み取りおよび書き込みできることを理解するであろう。aに適合して結合されている。10に対して選択された関連機構は、一端に隣接して位置するリード/ライト・ヘッド構造体と他端に隣接して位置するボイスコイル・モータとを備えた本質的にピボット支持された桁の形式を取るものとみなすことができる。form.装置稼動中に励起されたならば、アクチュエータ60はヘッド構造体を半径方向経路に近似した弧状経路でディスク24の記録表面上に動かす。従来のフライング・ヘッド・ドライブでは、ロータリ・アクチュエータによるそのような弧状運動はヘッド歪み作用を生じるが、それは空気ベアリング剛さの顕著な変動とヘッド/メディア間隔の変化を惹起する。本発明の装置は均一なヘッド/ディスク界面を維持するために空気ベアリング作用に依存していないため、ヘッド歪みはほとんど無関係であり、またアクチュエータ60は変換器を半径方向にスピン軸18に極めて近い位置へ内側に送るために首尾よく使用できる。position.【0040】装置10において、アクチュエータ60の動きは正確な変換器位置決めを保証するフィードバック・ループを形成するためにディスク24のトラックに埋め込まれた適切なサーボ位置決めデータを備えた従来の閉ループサーボ技術を用いて制御される。10を外部デバイスに接続する従来のインターフェース電子機構との間の電気的相互接続を提供するために採用される。bのそれぞれでの貯蔵容量は40メガバイトを超える。この大容量貯蔵能力およびその利用における高い信頼性に大いに貢献するのが、本発明の新規な特徴の結果として存在する特有のヘッド/ディスク界面域である。invention.具体的には、ユニット26、28のそれぞれと係合する小さな質量が約40ミリグラムまたはそれ以下の極めて小さな、加えられた静荷重下でディスク24の表面との実質的に連続した滑り接触稼動を可能にする。ユニット26、28のそれぞれに担持された変換器のポールチップを特徴づける極小寸法(上述)と組み合わされた界面域でのこれらの特徴は、上記のような特筆すべき、かつ信頼できる貯蔵容量性能を提供する。a.【0043】ここで説明される本発明を表す装置は極めて小さなフォーム・ファクターを持つ剛性ディスクが使用されている装置であることを考慮するならば、大きなフォーム・ファクター・ディスクドライブ装置における本発明の実施は信頼できる情報貯蔵容量の同様に驚異的な改良を提供すること、さらに本発明の利用はそれが組み込まれる装置の寸法とは無関係であることが理解できるであろう。incorporated.【0044】ここで図面の図5および図6(それらでは各要素は正確な相対割合では示されていない)に注意を向けるならば、装置10にはリード/ライト・ヘッド構造体および細長い可撓性構造体の変更態様が示されており、そこでは関節つまりジンバル機構が両者を制限された相対運動のために相互連結している。82,これらのそれぞれは構造において実質的に同一である。)はその中に図4で示された構造体に極めて類似したプローブ形式の変換器のリード/ライト・ポールチップを埋め込んでいる。eがあるが、それらはヘッド構造体84の変換器の磁性部材と協同する埋め込まれたコイル構造体(ヘッド構造体84に内蔵、図示せず)と導電的に結合される。upper.【0046】可撓性構造体86の誘電体内に理め込まれているのが細長い二つの導体90、92であるが、それらは図4の構造体26に関して前述した導体40などの導体に合致している。eの図5および図6の上側に導電的かつ機械的に結合されている。リボン94、96は部分的に前述のジンバル機構88を形成する。その上、それらは可撓性構造体の導体へのヘッド構造体84にあるコイル構造体のための電気回路を完成するが、これらの導体はさらに「外界」への電気通信を提供する。fの外側の上端に揺動して接触する。86)限定された揺動量を許容される組織である。aの下側との間に存在するピボット接触により生じる。ヘッド構造体84と可撓性構造体86との間にはこれらの構造体の平面とみなされるものにおいて、つまり図6の平面に直交する軸のまわりでの揺動は許容されない。allowed.【0050】明白であるように、組立体80、82は剛性ディスクの記録表面に存在し得るあらゆる非平坦さに特に注意することが望ましい状況、あるいはディスクが貯蔵装置に取り付けられるやり方から生じ得る状況において有益である。組立体80、82は、ディスクの位置に関してヘッド構造体および可撓性構造体により大きな取り付け公差を許容することが望ましい状況においても有益である。disk.【0051】組立体80,82のそれぞれは約1.5ミリグラム以下の有効質量により特徴づけられるが、それぞれはその係合するヘッド構造体によりディスク24の係合する記録表面と実質的に連続的に接触して稼動する。したがって、これらの二つの重要な観点つまり接触稼動と低質量構造において、組立体80、82はユニット26、28により提供されるものと同じ重要な利益を提供する。これらの組立体のジンバルされた構造により、ヘッド構造体は接触された記録表面の起伏つまり非平坦さを示し得る回転するディスクとの接触を継続することができる。そのような構造はまた、装置10などのドライブ装置におけるヘッドおよびディスクの大きな取り付け公差を許容する。format00を含むように構成されている。フィールド・デバイスに対する米国特許第4,751,598号において詳しく説明されている。110、別の酸化アルミニウム製の電気絶縁層112、および磁性層114を含むが、これらのすべては酸化アルミニウム製の可撓体116の末端に隣接して一体的に形成されている。4,751,598号において記載および説明されたような公知のクロス・フィールド原理にしたがって稼動する。598.【0055】図7の構造体は、これまでその他の構造体に関連して前述した低い有効質量対策のすべてを充足する。124と協同して機能する戻りポールを形成する磁性材料である。cooperatively.【0058】図8に示された統合構造体は、図7に示されたものと同様に、ここに説明された低質量対策のすべてを充足する。herein.【0059】図7および図8に示された特定の変換器構造体、すなわち前者の場合でのクロス・フィールド方式および後者での磁気抵抗方式の構造体は本発明の統合された構造体に容易に組み込むことのできる当業者には公知の多種類の類似的に機能する構造体の例示にすぎないことが、当業者には明白なはずである。8に示されたような変換器は図5および図6において、またそれらに関して示されたような関節式ジンバル装置において同様に組み込みできることも、理解されるはずである。is当業者にとって公知である薄膜および写真平版技術を用いて統合されたヘッド構造体/可撓性構造体ユニットとして、あるいはジンバル構造体により結合できる個別ユニットとして製造することができる。words,これらの構造体は統合仕様であれ、またはジンバル構造体による分離仕様であれ、種々の磁気、電気および構造部品または部分の周知のフォト・パターニングを伴う従来の薄膜蒸着およびエッチング工程を採用して原子レベルで製造することができる。embodiments,電気およびその他の構造体のほとんどは製造のウェーハ・スケール(wafer−scale)として知られる方法により製造できるが、それは例えば図4、7、8の上面とみられるものから生じる蒸着により一般に行われる。8の左側から内側(左から右)への方向に生じる蒸着により形成することができる。多くの例におけるそのような直交平面加工は、本発明の装置において採用できるヘッド/可撓体/変換器要素の構成部材の製造を実用的に可能とする。invention.【0062】このように、本発明の装置のいくつかの重要な実施態様がここに示され、かつ説明され、さらに製造に適した有効な技術が解明された。記載された各装置の実施態様は利益のすべてを提供し、また上記の目的のすべてを充足することが、当業者にとって明確なはずである。この言明を強調するならば、いくつかの装置の実施態様のそれぞれはディジタル情報を貯蔵および再生するための信頼できる高性能な剛性ディスク電磁記録装置の特徴を有すると共に、該装置は高効率のデータ転送機能により、量単位あたりの大きな潜在貯蔵容量により、また大幅に改良された動的性能により特徴づけられるのであり、これらのすべては技術におけるそのような「容量/効率」の進歩に顕著に貢献する本発明により提案された大幅に改良されたリード/ライト・ヘッド/ディスク界面域により促進かつ高められることが明らかとなるはずである。to.【0063】本発明の構造体および装置において選択的かつ自由に採用できるものとして種々の磁気ヘッド/変換器形式があるが、それらのいくつかは図示されており、および、または説明されている。format,「接触」読み取りおよび書き込み形式の操作において使用可能である。form.【0064】したがって、本発明のいくつかの特定の実施態様がここに図示され、かつ説明されているが、特別な操作状態に適合するための変更および修正を行うことが可能であり、それらの変更および修正は本発明の範囲および精神に適正に合致することが明らかとなるはずである。DRAWINGS【図1】図1は、本発明にしたがって製造される局所化されたリード/ライト・エンハンスメントを備えた小フォーマットの剛性磁気ディスク・ディジタル情報貯蔵装置を示す開かれた平面図である。invention.【図2】図2は、図1に示された装置を図1の底から見上げた図1よりも大きな尺度で示された縦断面図である。/導体構造の正規尺度でない拡大された簡略な分解側面図であり、本図でのフォーカスは図2の矢印3により指示されている本発明の基礎をなすリード/ライト・ヘッド/ディスク界面域に局所化されている。unit,ヘッド構造体のヘッドはプローブ形式である構造体を示す図3の構造体の一つのさらに拡大された分解縦断面図である。format.【図5】図5は、それが電磁リード/ライト・ヘッド構造体および細長い可撓性構造体はこれらの二つの構造体の間の限定された相対運動を許容するジンバル機構により結合される本発明の変更態様を示しているという重要な点以外は図3に類似した側面図である。FIG.【図6】図6は図5の6−6線についての、実質的に図5に採用されたと同じ尺度での分解図である。Fig.【図7】図7は、本発明の可撓性構造対に組み込まれたクロス・フィールド形式の変換器を備えた本発明の変更態様の縦断面を示す図4の右端からみた拡大分解図である。there.【図8】図8は、磁気抵抗部材を採用した変換器構造体を備えた本発明の別の変更態様を示す図7と同じ尺度で同じ方向からみた拡大分解図である。造体上のトラックに関して位置決めするサーボ制御アクチュエータ手段を備えていることを特徴とする電磁ディスク・ドライブ装置。前記のヘッドおよび可撓性構造体が操作状態にある時に、前記ヘッド構造体は制御され、相対的に可動で、前記表面域と滑り接触していることを特徴とする請求項1記載のディジタル情報を貯蔵および再生するための電磁ディスク・ドライブ装置。前記のヘッド構造体および可撓性構造体は単一で統合されており、それにより両構造体は単一ユニットとして移動および稼動することを特徴とする請求項1または2記載のディジタル情報を貯蔵および再生するための電磁ディスク・ドライブ装置。structures記載のディジタル情報を貯蔵および再生するための電磁ディスク・ドライブ装置。plurality,同心状に隣接した記録トラックを含んでおり、そしてヘッド構造体は上記のように前記両側面のそれぞれのトラックと選択的に操作協同するために設置されることを特徴とする請求項1または2記載のディジタル情報を貯蔵および再生するための電磁ディスク・ドライブ装置。plurality,同心状に隣接した記録トラックを含んでおり、そしてヘッド構造体は上記のように前記両側面のそれぞれのトラックと選択的に操作協同するために設置されることを特徴とする請求項3記載のディジタル情報を貯蔵および再生するための電磁ディスク・ドライブ装置。plurality,同心状に隣接した記録トラックを含んでおり、そしてヘッド構造体は上記のように前記両側面のそれぞれのトラックと選択的に操作協同するために設置されることを特徴とする請求項4記載のディジタル情報を貯蔵および再生するための電磁ディスク・ドライブ装置。造体に操作接続されてこれを位置決めし、そして前記ヘッド構造体を前記の少なくとも一側面上のトラックに関して位置決めするサーボ制御アクチュエータ手段を備えていることを特徴とする電磁ディスク・ドライブ装置。前記のヘッド構造体および可撓性構造体は単一で統合されており、それにより両構造体は単一ユニットとして移動および稼動することを特徴とする請求項8記載のディジタル情報を貯蔵および再生するための電磁ディスク・ドライブ装置。前記のヘッド構造体および可撓性構造体は両構造体間の制限された相対的な関節を可能にする手段により結合されることを特徴とする請求項8記載のディジタル情報を貯蔵および再生するための電磁ディスク・ドライブ装置。前記の少なくとも一つのディスクの両側面に設けられ、各側面は複数の、同心状に隣接した記録トラックを含んでおり、そしてヘッド構造体は上記のように前記両側面のそれぞれのトラックと選択的に操作協同するために設置されることを特徴とする請求項8、9または10記載のディジタル情報を貯蔵および再生するための電磁ディスク・ドライブ装置。前記ヘッド構造体は誘導変換器構造体を含むことを特徴とする請求項1または2記載のディジタル情報を貯蔵および再生するための電磁ディスク・ドライブ装置。前記ヘッド構造体はクロス・フィールド変換器構造体を含むことを特徴とする請求項1または2記載のディジタル情報を貯蔵および再生するための電磁ディスク・ドライブ装置。含むことを特徴とする請求項1または2記載のディジタル情報を貯蔵および再生するための電磁ディスク・ドライブ装置。前記ヘッド構造体は誘導変換器構造体を含むことを特徴とする請求項8、9または10記載のディジタル情報を貯蔵および再生するための電磁ディスク・ドライブ装置。前記ヘッド構造体はクロス・フィールド変換器構造体を含むことを特徴とする請求項8、9または10記載のディジタル情報を貯蔵および再生するための電磁ディスク・ドライブ装置。含むことを特徴とする請求項8、9または10記載のディジタル情報を貯蔵および再生するための電磁ディスク・ドライブ装置。