開発・改良に意欲的に取り組んでいます。ユーザの皆さまから寄せられるご意見やご感想は、改善点の優先順位などを検討する際に、貴重なご意見として役立ててまいります。température.(JA)金属含有塗布液が樹脂材料により形成された配管により塗布ノズルに導かれ、塗布ノズルにより基板に吐出される。配管の少なくとも一部に接触するように設けられた熱伝導部材の温度が温度調整部により調整されることにより、配管内を流れる金属含有塗布液の温度が調整される。熱伝導部材は、樹脂材料よりも高い熱伝導率を有しかつ樹脂材料よりも低い液体透過性を有する。配管の少なくとも一部の外周を取り囲むように他の配管が設けられる。液体供給系により配管と他の配管との間の空間に疎水性の液体が供給される。液体供給系により供給される液体の温度が温度調整部により調整される。