半導体プロセス制御に最適な温度センサ、位置センサのほか、高い精度と実績を誇る電動ステージ、ナノポジショニング装置などのモーションコントロール製品、除振台、ユニークで高品質な各種光学部品をご紹介します。本年は新たに欠陥検査装置、AFMといった測定器も出展いたします。光ファイバ式温度センサ高い精度と信頼性、素早いカスタム・プロトタイプ対応で半導体/OLED製造装置の温度計測に貢献します。電磁波による影響を受けずに幅広い温度範囲で計測が可能です。Controlの高精度蛍光式光ファイバ温度センサは、過酷な環境でも高い精度と再現性、長期にわたる安定性を保つように設計されています。強力な電磁場からの干渉に耐性があり、プラズマエッチングおよびプラズマCVDにおける高精度温度モニタリング用途に理想的です。プロセスチャンバ内の静電チャックやエッジリングなど、プロセスの均一性に影響するコンポーネントの温度を測定できます。エッチングチャンバ内の静電チャックに対して複数の加熱ゾーンを測定するなどの用途に使用され、最先端の半導体製造に必要な温度制御および均一性実現を可能にします。エリアを対象として、膜厚サブナノメートルオーダーのフィルム欠陥をイメージングできます。50mmの基板の測定およびデータ表示まで行う高速測定が可能。非円形や壊れやすいサンプルにも対応します。透明な基板については表面・裏面の同時観察、かつ表裏の分離が可能です。システムは耐振動性です。多用途・高性能AFMです。使いやすさを追求した汎用機なため、AFM初心者の方であっても、最先端のAFM測定技術を、まるで10年以上のAFM経験者のような素晴らしいデータを取得できます。スキャナ一体型のAFMヘッドは、コンパクトで高分解能。スキャナはフレクチャーステージを採用し、XYZ軸のクロストークがありません。高性能ロックインアンプを搭載したコントローラーは、位相モード、ピエゾレスポンスモードで比類ないイメージング品質の向上をもたらします。光学アクセス仕様あり使いやすさを追求した汎用・多用途なAFMです。AFM初心者の方であっても、いきなり高度な測定モードを訓練なしで実施でき、高度な測定モードを使いこなせます。AFM上級者の方にも満足いただける、高性能なAFMです。Observerは、最高の空間分解能で、トポグラフィだけでなく様々な表面物性を取得できる機能を持っています。Observerはこれまで時間のかかっていたAFMの測定条件調整の手間を、圧倒的に簡素化し、実験の時短にも貢献します。ナノ位置決めステージ&レーザー干渉式変位センサattocube社のナノポジショナーと干渉式変位センサは、いずれもクリーンルーム環境で使用でき、高真空や高温などの極限環境にも対応しています。ビームシェーピング用のアパーチャやミラーの移動には、ピエゾ駆動ナノポジショナーが最適です。ウェハ、ウェハマスク、ウェハチャックに必要な最高のモーション精度を提供します。干渉式変位センサは、光学材料を非接触で直接測定する品質管理計測系における中心的要素として使用されています。ガラスなどの光学材料上を非接触測定でき、ウェハやマスク品質に好適です。ナノオーダーの高精度アライメント用途など産業分野での高精度マシニングから、要件の厳しい最先端の研究アプリケーションにも好適です。レーザー干渉式センサファブリーペロー干渉計に基づいたセンサで、さまざまな材料や形状に対してピコオーダ精度、数ミリメートルから数メートルまでの広い作動距離を達成しています。特許取得済みのファイバーベース技術で、モジュール式のセットアップと非常にコンパクトなセンサヘッドが特長。モーションコントロール製品ニューポート社は、位置決め装置(モーションコントロール)の精密機械設計と製造に50年にわたって携わり、その豊かな経験と専門性を背景に、非常に多彩なラインナップを展開しています。InfoNewport社はモーションコントロール製品について、標準製品や用途に合わせた特殊製品、OEMソリューションから部品組立品、入念に設計されたシステム、特別仕様のOEM技術プラットフォームまで、非常に広範囲の高精度位置決め製品とソリューションの製品ラインを持っています。直進ステージ、回転ステージ、アクチュエータ、制御機器など広範な製品を販売しています。これらの高度に設計された製品は、研究や産業エンドユーザの要求に応えて設計されており、またそのままOEMアプリケーションのソリューションにもなります。Newport社は業界最高の品質を誇り、お客様の要求に応じて、特注ソリューションを製作できます。