広島県Japan小間番号1013通常の半導体自動化装置に加え、ファンアウトパネル搬送装置、距離センサ―等を展示致します、ローツェブースにお越しください。ローツェ株式会社は自動化・モーションコントロールのベース部分となる、モータドライバ・コントローラから、ロボット、ロードポート(LP)、アライナ等の自動化単体モジュール、それらを使用したEFEM、ウエハソータ、真空プラットフォーム等の装置に加え、工場HOSTとの通信含めた全てのソフトウェアまで、グループ企業内で全て開発・製造している垂直統合メーカです。これまで創業以来30余年の間半導体製造装置メーカ殿向けに提供し続けてきたソリューションだけでなく、近年はエンドユーザ殿向けのウエハソータ、ベアウェハストッカ、パージ(N2,XCDA)対応ウェハストッカ、ALP(FOUP移載補助装置)等のFAB向けの自動化ソリューションも提供させて頂き、ウルトラクリーン性能及び高い製品信頼性により世界各国のエンドユーザ殿からサプライヤー賞頂き、高い評価受けております。本年は通常の半導体前工程用だけでなく、中工程と呼ばれるファンアウト工程にも対応可能なPLPパネル搬送ロボットを展示させて頂きます。ロングリーチの半導体ロボットをベースに小フットプリントでコンパクトなパネルのクリーン搬送を実現しています。ローツェで独自開発した距離センサ―、加速度センサーの使用例を展示します。自動化装置の長期間使用による位置ずれの検知によりウェハスクラッチ等の問題を防ぐ予測検知及び衝突等の異常検知目的に使用可能です。オートティーチング等への応用も可能です。エンドユーザからの窒素パージの次世代の更なる要望に対応する為、ローツェ独自のN2マイクロエンバイロンメントタイプのN2ソリューションをパネル展示します。EFEMの懸念点である、高イニシャルコスト、高ランニングコスト、コンタミネーション、温度上昇のリスクを、ローツェ特許のN2シャッタドア、N2アンブレラタイプロボットエンドエフェクター(第2世代)により解決するソリューションです。Framework(TM)をベースとした装置制御ソフトウェアと共にトータルソリューションを提供します。ローツェ独自開発の真空チャンバ表面処理技術RM処理もデータ展示します。ローツェ独自の真空チャンバの表面仕上げ、表面処理により、低アウトガス、低パーティクル、短時間真空ポンピング時間を達成します。