KJ300世界トップクラスの緻密さとタフさを兼ね備え、先端デバイスの製造に貢献いたします。・片側アクセスの採用により省スペース化が実現。・各処理槽に独立したリフター搬送機を設置。処理槽寸法を削減し、同時に薬液使用量の削減も実現。・電装BOX、メガソニック、冷却ドレンタンク等を装置内に収納。クリーンルーム内の装置設置レイアウトを簡略化。・インナーストッカーでのフレキシブル動作により高速搬送を実現。・処理前後のハンドをそれぞれ専用化することで各動作を高速化。・クイックレスポンスの管理システムにより安定した温度管理を実現。・画期的なシステムの導入より液補充量の最適化し薬液濃度のより安定した濃度管理を実現。低減することでリンス効果の向上を行う。(省純水使用量)・簡単設定で広範囲なプロセスマジーンを見ることが出来る乾燥機、IMD2の採用。・頑強なウェーハ搬送ロボットとリフターによりスムーズなハンドリングを実現。・各種の安全機能と万全なウェーハ保護機能を所有。・各種ロギングシステムをトレンドグラフなどを採用し簡単で見やすい操作性を実現。