マニュアルスピン洗浄装置(GPCシリーズ)マニュアルスピン洗浄装置(GPCシリーズ)本装置はガラスブランクス及びCrマスク基板のファイナル洗浄を可能にしたスピン洗浄装置です。多彩な機能を持ち、高精度な処理が可能です。特徴スクラブ洗浄ナイロンブラシ、PVAスポンジブラシによるスクラブ洗浄。ブラシを清潔に保つ、自己洗浄機能付き。CO2イオナイザー装備クリーンブース仕様ご要望に応じて各種クリーンブースケミカル処理システムオプションでSPMなどのケミカル処理も可能です。